微动工作台

作品数：71被引量：302H指数：9
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亚纳米驱动分辨力的六自由度微动台被引量：2
《光学精密工程》2023年第13期1933-1940,共8页黄强先 程保林 张弛斌 张帆 张连生 
国家自然科学基金资助项目(No.51875163);国家重点研发计划资助项目(No.2019YFB2004901)。
微位移工作台是实现高精度定位的关键部件,传统的工作台自由度少且分辨力不高,不能满足应用需求,因此提出一种六自由度高精度微位移工作台结构方案并验证了其性能。在整体结构上采用“串并联混合驱动”的方式和中空结构,将六个自由度的...
关键词：微动工作台 亚纳米分辨力 六自由度 运动控制系统 
大行程X-Y二维微动工作台的设计与减耦
《装备维修技术》2020年第11期0208-0209,共2页王祯妍 
设计了一种新型大行程 X-Y 二维微动工作台并完成减耦。该工作台采用压电驱动器提供微位移,串联构型与柔性铰链、杠杆 机构配合,实现二维大行程位移输出。利用有限元仿真调节传动铰链的位置,结合双平行四杆柔性移动副实现 X 和 Y 方向的...
关键词：大行程微动工作台 双平行四杆机构 运动解耦 有限元分析 
读数显微镜检定装置改进综述
《科学与信息化》2020年第6期62-63,共2页杨云涛 张少杰 
本文研究了读数显微镜检定装置和检定方法,对原读数显微镜检定装置进行了改进,增加了固定调焦机构、视场照明机构、微动工作台和螺旋测微读数机构,改善了读数环境,提高了显微镜调焦和测量标准器的找正效率,延长标准器的使用寿命,提升工...
关键词：微动工作台 微动调整 视场照明 螺旋测微 
一种大工作空间密度的压电微动二维工作台设计被引量：5
《中国机械工程》2017年第9期1016-1020,1028,共6页曹瑞珉 郝丽娜 高金海 
国家自然科学基金资助项目(61573093)
针对目前微纳定位工作台工作空间密度小的问题,设计了一种新型二自由度对称式并联微纳定位工作台。分析了影响平行四边形位移放大机构变形的主要因素;对直圆柔性铰链、平行板柔性铰链和倒圆角直梁型柔性铰链进行刚度计算;采用能量法和...
关键词：位移放大 柔性铰链 微动工作台 工作空间密度 
磁悬浮式离心铸造机微动工作台控制策略被引量：3
《铸造技术》2013年第7期927-929,共3页雷勇 伍小兵 
结合交直流混合驱动的磁悬浮式微运动新思想,设计了1种新型的磁悬浮式微动工作台;针对磁悬浮式离心铸造机微动工作台的开环控制不稳定性,分别设计超前滞后控制器和PID控制器应用在工作台水平方向微运动控制中;利用Matlab软件对离心铸造...
关键词：磁悬浮 离心铸造机 PID控制 仿真分析 
新型磁悬浮式离心铸造机微动工作台研究
《铸造技术》2013年第6期756-758,共3页雷勇 伍小兵 
针对离心铸造机工作原理,提出了一种交直流混合驱动的磁悬浮式微运动新方法,设计了一种新型的磁悬浮式微动工作台,可实现大范围6自由度微运动和恒高度微运动。根据绕组电流和气隙及驱动力关系方程,绘制了绕组电流与气隙和驱动力力关系曲...
关键词：磁悬浮 离心铸造机 微动工作台 
微动台位移检测及伺服控制系统的研究
《成都工业学院学报》2013年第2期43-46,共4页吴年祥 陈小林 
安徽省省级质量工程项目"电气自动化技术专业教学团队"(20101688)
设计一种以微控制器为核心的微动工作台位移检测及伺服控制系统。信号处理电路采集传感器输出的信号,通过将其放大、滤波、细分辨向等处理后转换成脉冲序列送给微控制器,微控制系统通过I/O口发送方向控制信号和脉冲信号驱动步进电机旋转...
关键词：微动工作台 光栅信号 细分辨向处理 步进电机 
压电式二维微动工作台的迟滞补偿与解耦控制被引量：6
《纳米技术与精密工程》2013年第3期252-260,共9页陈远晟 裘进浩 季宏丽 
国家自然科学基金重大研究计划培育项目(90923029);长江学者和创新团队发展计划资助项目(IRT0968);国家自然科学基金中美合作与交流项目(51161120326);江苏省自然科学基金创新学者攀登项目(BK2009020);江苏高校优势学科建设工程资助项目
为了提高压电式二维微动工作台的定位精度,基于改进的Prandtl-Ishlinskii模型设计了前馈与解耦控制器,并结合反馈控制器开发了复合控制系统.在分析x与y方向电压与位移之间迟滞关系的基础上,前馈控制器通过改进的Prandtl-Ishlinskii模型...
关键词：微动工作台 迟滞耦合 Prandtl—Ishlinskii模型 复合控制 
用于微动工作台的光纤位移传感器设计被引量：6
《传感器与微系统》2013年第1期115-117,共3页韦宣 乐静 申阿维 邵伟 
陕西省自然科学基金资助项目(SJ08E219);陕西省教育厅自然科学基金资助项目(09JK624)
针对微动工作台定位中遇到的位移检测问题,探讨了一种反射式光纤位移传感器。通过分析光纤耦合原理设计了发射接收光纤探头的结构;选择高亮度LED和高灵敏度硅光电池,提高了传感器的抗干扰能力和增强了信号强度;检测电路实现了对信号的...
关键词：光纤位移传感器 亚微米 微动工作台 
微动工作台行程放大结构的设计和分析
《现代导航》2012年第4期279-281,278,共4页陈冬 陶智 
研究开发了一种新型的大行程二维压电微动工作台。介绍了弧曲位移放大机构的工作原理,分析了影响放大机构性能的因素;工作台的柔性铰链、弹性平行导板机构、弧曲位移放大机构,采用一体化设计,实现了大行程,并满足了传动导向的高精度、...
关键词：弧曲位移放大机构 压电陶瓷微致动 微动工作台 二维压电 
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