新一代超薄金刚石X光窗口及器件研制  

作　　者：光科系[1] 应萱同[2] 应萱同 

机构地区：[1]复旦大学信息科学和工程学院 [2]先进光子材料与器件国家重点实验室,上海200433 [3]复旦大学信息科学和工程学院光科系先进光子材料与器件国家重点实验室上海200433

出　　处：《北京同步辐射装置年报》2002年第1期194-195,共2页

关 键 词：超薄金刚石窗口 热灯丝化学气相沉积 X光 衍射 CVD 金刚石薄膜 

分 类 号：TN304.055[电子电信—物理电子学]