非硅基底1×4微机电系统光开关  

A Non-Silicon-Based 1×4 MEMS Optic Switch

作　　者：曹钟慧[1] 鲍俊峰[1] 袁野[1] 吴兴坤[1] 

机构地区：[1]浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光及电磁波研究中心,杭州310027

出　　处：《光学学报》2003年第9期1041-1044,共4页Acta Optica Sinica

摘　　要：设计研制了一种小体积、低成本、可扩展的低电压非硅基底 1× 4微机电系统光开关。开关单元由电磁驱动 ,微反射镜绕直径 10 0 μm转轴转动 ,驱动电压为 5V ,开关时间小于 2ms,插入损耗小于 0 .84dB ,具有断电自锁功能。器件构造工艺采用微细电火花加工技术。用有限元法分析受力和磁场 ,进行结构优化设计 。A fiber optic switch based on a novel micro\|electromechanical system (MEMS) technology is developed, allowing fast switch (<2 ms), excellent isolation (>50 dB) and wide bandwidth. Each switch module consists of an electromagnetically actuated gold coated silicon mirror rotating around a 100 μm diameter shaft and a miniature 5 V driven coil. Enabling technology is of precision EDM machining. The switch is scalable to 8×8 and allows the realization of high capacity cross connects.

关 键 词：微型光机电系统 光开关 有限元分析 微反射镜 光纤通信技术 结构设计 

分 类 号：TN202[电子电信—物理电子学] TN929.11