从OFC2003看平面光波导器件的发展动向  

Recent Progress on Planar Optical Waveguide Devices in OFC 2003

作　　者：严清峰[1] 余金中[1] 陈少武[1] 

机构地区：[1]中科院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京100083

出　　处：《光电子．激光》2003年第10期1124-1128,共5页Journal of Optoelectronics·Laser

摘　　要：概述了2003年OFC会议上报道的平面光波导器件,着重介绍了平面光波导器件在新材料、新工艺、新结构方面的新进展和发展方向。The recent progress of planar optical waveguide devices reported on OFC 2003 has been overviewed and the emphasis is stressed on the progress of novel materials,new technology and novel structures used for planar optical waveguide devices.

关 键 词：平面光波导器件 平面光波导集成回路 OFC2003 材料 飞秒激光直写 极化诱导直写 发展方向 

分 类 号：TN252[电子电信—物理电子学]