国产Φ200mm划片机关键机构设计  

Design of the key meahsnism about Φ200mm dicing machine

作　　者：王宏智[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京东燕郊101601

出　　处：《电子工业专用设备》2003年第5期18-20,共3页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：原理性介绍200mm划片机研制中需要着重解决的若干难点问题。A number of difficulty problems are theoretically introduced,which need be emphatically solved in development of200mm dicing machine.

关 键 词：强力磨削 共振模态 无刷直流驱动 闭环定位控制 空气静压主轴 

分 类 号：TN605[电子电信—电路与系统]