王宏智

作品数:6被引量:22H指数:3
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供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文主题:划片机LOW介质层微水激光更多>>
发文领域:电子电信自动化与计算机技术更多>>
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硬脆材料的激光引导冷分离技术被引量:3
《电子工业专用设备》2016年第9期1-2,33,共3页张孝其 张雨 韩微微 王宏智 
介绍了一种新型、节能的硬脆材料分离技术。该技术使用隐形激光打点使晶锭上部形成分离层,通过将高分子分离材料涂覆在待分离的晶圆薄片表面并冷冻使晶圆薄片分离。描述了该技术的主要工作流程和工艺特点,将该技术与目前常用的金刚线切...
关键词:激光隐形打点 等离子扫描 冷冻分离 
基于Spirit解析器框架的DXF文件解析技术被引量:2
《电子工业专用设备》2012年第11期44-49,共6页孟凡辉 王宏智 吴旭 
科技部863计划(No.2009AA043102)
提出了一种有效解析DXF文件的新方法,新颖之处在于包含了从特定领域建模过程获取的模型中自动生成代码思想。它基于开源的Boost Spirit解析器框架,举例阐释了本技术。结果表明,与通常的纯手工编码方法相比,其代码倾向于更加简洁、高效...
关键词:DXF解析 Spirit解析器 特定领域建模 
微水导激光划片工艺原理及应用被引量:5
《电子工业专用设备》2008年第3期27-31,49,共6页王宏智 
从应用需求出发,介绍了微水导激光划片工艺的主要原理和特点;对其关键工艺机构中的光学聚焦系统、激光在水柱中的全反射传播、激光系统、压力水腔和喷嘴组成的光液耦合器等原理进行了简单分析和介绍;对微水导激光划片工艺的应用前景进...
关键词:微水导激光 光液耦合 划切 微水柱 热熔效应 超薄晶圆 Low—K介质层 LED衬底 
全自动划片机的关键技术研究被引量:10
《电子工业专用设备》2007年第2期28-32,38,共6页王明权 王宏智 
根据微电子工业的发展现状,论述发展全自动划片机的必要性;从全自动划片机的工作机理出发,分析空气静压电主轴、晶圆传输定位、自动对准、自动清洗等全自动划片机的关键技术;依据分析结果提出相应的解决措施。
关键词:空气静压电主轴 晶圆传输定位 自动对准 自动清洗 
划片机视觉识别系统设计原理分析被引量:2
《电子工业专用设备》2006年第3期51-54,共4页王宏智 
自动对准技术是集成电路后封装设备中的一项重要单元技术,是全自动划片机与普通划片机的最大区别之一。国际上主要划片机制造商的全自动设备都配有实时高效的图像识别对准单元。作为提高其设备性能的一种有力手段,长期以来在划片机的研...
关键词:自动对准 模板匹配 视觉识别 兴趣区域 图像滤波 灰度值 几何边缘 机器视觉 
国产Φ200mm划片机关键机构设计
《电子工业专用设备》2003年第5期18-20,共3页王宏智 
原理性介绍200mm划片机研制中需要着重解决的若干难点问题。
关键词:强力磨削 共振模态 无刷直流驱动 闭环定位控制 空气静压主轴 
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