大气状态下AFM针尖诱导氧化加工Ti膜的机理分析  

Mechanism Analysis of AFM Tip Induced Oxidation of Ti in Air

作　　者：匡登峰[1] 刘庆纲[1] 胡小唐[1] 郭维廉[2] 张世林[2] 

机构地区：[1]天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试计量技术及仪器国家重点实验室,天津300072 [2]天津大学电子信息工程学院,天津300072

出　　处：《Journal of Semiconductors》2003年第12期1303-1306,共4页半导体学报（英文版）

基　　金：教育部天津大学南开大学科技合作项目 ;教育部重点科技项目 (No.0 2 0 43 )基金资助~~

摘　　要：通过 AFM针尖诱导氧化加工 Ti膜的实验得到了凸出的 Ti膜氧化物高度与偏置电压成线性关系 ,并和针尖扫描速度成负对数关系 ,在前人的基础上深化了 AFM针尖诱导氧化加工的机理和理论模型 ,分析得到了合适的加工条件即 :偏压为 8V,扫描速度为 0 .1μm/ s.The mechanism of AFM tip induced oxidation is analyzed in details.According to the experimental results of AFM tip induced oxidation of titanium under various voltage biases and scanning speeds,it is found that the height of the titanium oxidation is linear with the voltage bias and with the negative log of the scanning speed.Based on the current theories,the mechanism and the theoretical model of AFM tip induced oxidation are improved,and the proper conditions,voltage bias of 8V and scanning speed of 0.1μm/s,to perform AFM oxidation of titanium are got.

关 键 词：AFM针尖诱导氧化 阳极氧化 Ti氧化物 偏压 扫描速度 Ti膜 大气状态 

分 类 号：TN304.05[电子电信—物理电子学]