CMOS技术在生物传感器中的应用  

CMOS technology for biosensor application

作　　者：杨振[1] 颜永红[1] 齐良颉[1] 

机构地区：[1]湖南大学应用物理系,湖南长沙410082

出　　处：《微纳电子技术》2004年第1期34-37,共4页Micronanoelectronic Technology

摘　　要：介绍了应用传统CMOS工艺实现ISFET的设计方法,比较了四种不同结构ISFET的传输特性,提出了应用同一CMOS工艺实现衔接电路的差分结构形式,并通过实验验证了此电路设计的合理性。传感单元ISFET与衔接电路可整体集成于同一芯片,提高了生物传感器的品质。The design and fabrication of ISFET-based structure realized in an unmodified commercial CMOS technology are given. The transfer characteristics of four different ISFET are compared. A differential interface circuit is reported and realized in the same CMOS technology. The interface circuit can be monolithically intergrated on a chip with two ISFET,which greatly improves the quality of biomedical sensors.

关 键 词：CMOS 生物传感器 离子敏场效应晶体管 敏感膜 差分结构 参考电极 

分 类 号：TP212.3[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN386.1[自动化与计算机技术—控制科学与工程]