气体放电实验与帕邢定律  

Glow discharge and Paschen law

作　　者：侯清润[1] 茅卫红[1] 陈宜保[1] 

机构地区：[1]清华大学物理系,北京100084

出　　处：《物理实验》2004年第1期3-4,8,共3页Physics Experimentation

摘　　要：利用真空镀膜机的离子轰击装置研究了气体放电电压与气体压力的关系 .在保持气体放电电流不变的情况下 ,气体放电电压是气体压力的函数 .改变气体压力时 ,放电电压有一极小值 .The electrode voltage versus gas pressure in glow discharge is studied using the ion bombardment apparatus in the vacuum deposition system. The voltage is a function of gas pressure when the discharge current is kept constant. By changing the gas pressure, a minimal voltage is found. The relationship between electrode voltage and gas pressure can be explained by Paschen law.

关 键 词：帕邢定律 气体放电 真空镀膜 离子轰击 放电电压 气体压力 真空电子学 

分 类 号：O461[理学—电子物理学] TB716[理学—物理]