国内外MSSBIRFPA的发展现状及其应用  

作　　者：程开富[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第44研究所，重庆南坪400060

出　　处：《集成电路通讯》2003年第4期8-12,共5页

摘　　要：本文介绍国内外金属硅化物肖特基势垒红外焦平面阵列(MSSBIRFPA)的发展现状。概述了PtSi、IrSi、GeSi／SiMSSBIRFPA的研制和开发水平，同时也介绍了MSSBIRFPA技术在军事上的应用情况及发展方向。

关 键 词：MSSBIRFPA 金属硅化物肖特基势垒红外焦平面阵列 PTSI IrSi GESI/SI 应用 CCD CMOS MOS 

分 类 号：TN43[电子电信—微电子学与固体电子学]