二氧化硅的铜渗透效应的电特性表征  

出　　处：《电子产品可靠性与环境试验》2003年第6期70-70,共1页Electronic Product Reliability and Environmental Testing

关 键 词：二氧化硅 铜渗透效应 电特性表征 MOS电容器 铜污染 

分 类 号：X758[环境科学与工程—环境工程]