MOS电容器

作品数:17被引量:8H指数:2
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相关作者:张秀淼程新红俞跃辉于庆奎丁扣宝更多>>
相关机构:杭州大学上海华力微电子有限公司英特尔公司中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
相关期刊:《微电子学》《绍兴文理学院学报》《数理译丛》《电子元件与材料》更多>>
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4H-SiC基功率器件的high-k栅介质材料研究进展
《人工晶体学报》2024年第12期2027-2042,共16页刘帅 宋立辉 杨德仁 皮孝东 
浙江大学杭州国际科创中心人才专项(02010600-K02013005)。
金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)作为碳化硅绝缘栅结构的典型器件被广泛使用,然而SiO_(2)介电常数低的缺点和SiO_(2)/4H-SiC界面特性差的问题一直制约着4H-SiC绝缘栅结构(金属-绝缘体-半导体,MIS)器件更大规模商业化应用,因此科...
关键词:4H-SiC MOS电容器 high-k栅介质材料 堆栈栅介质 界面特性 电学性能 
不同钝化层对Er_(2)O_(3)/InP MOS电容器界面和电学性能调控
《绍兴文理学院学报》2023年第8期54-59,共6页吴秋菊 方泽波 
国家自然科学基金资助项目“稀土基高k栅介质钝化层InP叠层栅构筑及其物性研究”(51872186).
为满足集成电路发展需要,实验制备Al/Er_(2)O_(3)/InP金属氧化物半导体(MOS)电容器.采用ALD技术分别制备了超薄的Al_(2)O_(3),HfO_(2)和HfAlO钝化层,研究了不同种类的钝化层对InP-MOS器件界面和电学特性的影响.实验结果表明,钝化层能有...
关键词:MOS电容器 ALD Er_(2)O_(3)栅介质 钝化 界面态密度 
基于常规CMOS工艺的单层多晶硅EEPROM单元设计被引量:3
《电子元件与材料》2022年第7期719-724,共6页葛优 邹望辉 
湖南省教育厅项目(20C0028);湖南省自然科学基金(2020JJ4627)。
设计了一种由两个MOS电容器和一个读取NMOS管构成的单层多晶硅EEPROM存储单元。该EEPROM单元可采用常规CMOS工艺实现,通过在两个MOS电容器端施加一定电压产生n阱和浮栅间电荷的富勒-诺德海姆隧穿效应,从而实现写入和擦除。该结构可以更...
关键词:单层多晶硅EEPROM 常规CMOS工艺 MOS电容器 位粒度 富勒-诺德海姆隧穿效应 验证芯片 
MOS电容器单粒子介质击穿导致GaN功率放大器失效分析被引量:1
《航天器环境工程》2019年第5期458-462,共5页于庆奎 张洪伟 孙毅 梅博 李晓亮 吕贺 王贺 李鹏伟 唐民 王哲力 文平 
国家自然科学基金项目(编号:11875068;11475256)
为验证一款GaN功率放大器抗空间辐射效应能力,对其进行了重离子单粒子效应试验研究。被试样品是由GaN HEMT、MOS电容器和电感器等组成的混合电路。试验源为加速器产生的锗离子(Ge^+13,能量205 MeV),线性能量传输(LET)值为37.4 MeV cm^2...
关键词:氮化镓功率放大器 单粒子效应 重离子辐照试验 单粒子介质击穿 MOS电容器 
Vishay新款薄膜条MOS电容器为混合装配提供高功率
《变频器世界》2015年第5期22-22,共1页
22015年5月18日,Vishay Intertcchnology,lnc.(NYSE股市代号:VSH)宣布,针对高功率混合装配、SiC和GaN应用中的使用环境,推出新的薄膜条MOS电容器。Vishay Dale ResistorsElectro-FilmsBRCP可处理高功率,工作电压高达100V,有12...
关键词:MOS电容器 高功率 装配 混合 薄膜 外形尺寸 使用环境 工作电压 
CCD摄像机的基础知识(上)
《A&S(安防工程商)》2008年第12期48-52,共5页雷玉堂 
提起CCD.想必大家都不陌生,但究其根源.也许有些人并不十分了解。本文主要为读者介绍CCD摄像机的基础知识,希望大家对CCD有进一步的了解。
关键词:CCD摄像机 图像传感器 电荷耦合器件 MOS电容器 
Si_3N_4膜对MOS电容器存储时间影响的研究
《半导体光电》2006年第3期303-305,308,共4页陈忠和 许青 高燕 陈捷 
Si3N4薄膜淀积速率对MOS电容器存储时间影响很大。在850℃下,栅介质SiO2膜厚度100 nm,MOS电容器存储时间420 s。在50 Pa真空压力下,通过淀积70 nm厚Si3N4薄膜后,MOS电容器无存储时间。经900℃O2气氛退火40 min,MOS电容器的存储时间也不...
关键词:Si3N4薄膜 存储时间 退火 
二氧化硅的铜渗透效应的电特性表征
《电子产品可靠性与环境试验》2003年第6期70-70,共1页
关键词:二氧化硅 铜渗透效应 电特性表征 MOS电容器 铜污染 
MOS电容器指数衰减瞬时电流的分析
《电子产品可靠性与环境试验》2003年第6期68-68,共1页
关键词:MOS电容器 指数衰减 瞬时电流 金属氧化半导体 
背面氩离子轰击改善MOS系统界面特性和击穿特性被引量:3
《华南理工大学学报(自然科学版)》1995年第12期115-120,共6页李观启 钟平 黄美浅 曾绍鸿 
在室温下用低能量Ar+轰击MOS电容器背面,能改善SiO2-Si系统的界面特性和击穿特性。结果表明,随着轰击时间的增加,固定电荷密度、界面态密度和漏电流减少,高场击穿的比率增大,然后这些参数变化平缓并开始呈恶化趋势。...
关键词:氩离子束 界面特性 击穿 MOS系统 MOS电容器 
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