PCR生物芯片微反应腔的制作及其热分析  

Fabrication and thermal analysis of microchamber in PCR biochip

作　　者：刘大震[1] 闫卫平[1] 郭吉洪[2] 杜立群[2] 

机构地区：[1]大连理工大学电子工程系,辽宁大连116024 [2]大连理工大学微系统研究中心,辽宁大连116024

出　　处：《微纳电子技术》2003年第7期321-323,327,共4页Micronanoelectronic Technology

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (60 1740 3 4)

摘　　要：在PCR生物芯片的制作过程中 ,微反应腔制作是关键部分之一。本文利用硅基微机械加工工艺 ,分别采用湿法化学腐蚀、干法等离子体刻蚀及两者相结合的方法进行了微反应腔的制作。通过扫描电镜分析 ,证明干法和湿法腐蚀相结合的制作工艺能加工出较理想的微反应腔体。本文还利用ANSYS软件对微反应腔进行温度分布和热特性分析。The reaction chamber is one of the key parts of PCR biochip. The author utilized three kinds of different methods including dry etching, wet etching and the one that combined the two to fabricate the reaction chambers. The third method was proved to be best one through SEM. The thermal distribution and characteristics of the chip were analyzed by ANASYS software.

关 键 词：PCR 生物芯片 微反应腔 热分析 微机械加工工艺 湿法化学腐蚀 干法等离子体刻蚀 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]