湿法化学腐蚀

作品数：11被引量：15H指数：2
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相关作者：陈杰赵丽伟李向阳张燕王玲更多>>
相关机构：中国科学院中山大学河北工业大学湖南大学更多>>
相关期刊：《激光与红外》《材料科学与工程学报》《中国集成电路》《导航与控制》更多>>
相关基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”河北省自然科学基金广东省科技计划工业攻关项目更多>>
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湿法去除N型硅硼扩散过程形成的富硼层被引量：6
《材料科学与工程学报》2015年第1期9-12,35,共5页龙腾江 徐冠群 杨晓生 沈辉 
2012年广东省科技计划粤港关键资助项目(2012A080107002);国家自然科学基金资助项目(61176055)
硼扩散被广泛应用于n型硅基的p-n结制结工艺,然而硼扩散难免会在硅片表面形成一层很薄的的富硼层,该层由于富集无活性硼原子会严重影响电池性能。本研究制备HF-HNO3化学腐蚀液来去除富硼层,采用该方法去除富硼层后的硅片少子寿命从26.82...
关键词：N型硅 富硼层 湿法化学腐蚀 
湿法化学腐蚀法估算GaN外延层中位错密度
《半导体技术》2009年第12期1205-1208,共4页曹明霞 于广辉 王新中 林朝通 卢海峰 巩航 
国家自然科学基金(05ZR14139);上海政府国际合作项目(055207043)
研究了采用熔融NaOH对MOCVD生长的GaN外延层的湿法腐蚀结果,结合原子力显微镜表征其腐蚀坑形貌及腐蚀坑密度,得出了优化的腐蚀条件。通过与熔融KOH腐蚀结果对比分析发现,熔融NaOH腐蚀速率平缓,表面更平整,腐蚀坑更规则且密度更大。结合...
关键词：GAN 湿法化学腐蚀 熔融NaOH 熔融KOH 
湿法化学腐蚀在GaN基材料中的应用被引量：1
《激光与红外》2007年第B09期961-963,共3页陈杰 许金通 王玲 李向阳 张燕 
文中计算了A lGaN材料在不同温度KOH水溶液中的湿法腐蚀速率,并研究了湿法化学腐蚀GaN基材料对消除干法刻蚀所引入损伤的作用。为了对比湿法化学腐蚀消除干法刻蚀损伤的效果,分别利用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和俄歇电子...
关键词：湿法化学腐蚀 GaN基 干法刻蚀损伤 反向漏电流 
利用线形液膜的红外热像测定GaAs的湿法化学腐蚀启动时长
《Journal of Semiconductors》2007年第2期222-226,共5页刘霖 叶玉堂 吴云峰 方亮 陆佳佳 陈镇龙 
国家自然科学基金(批准号:60277008);教育部(批准号:03147);国防科技重点实验室(批准号:514910501005DZ0201);电科院及四川省科技厅(批准号:04GG021-020-01)资助项目~~
提出了一种测定材料湿法刻蚀启动时长的红外热像新方法.该方法的实质是利用反应启动时必然有化学热吸收或释放,从而引起材料表面液层温度变化这一特点,通过红外热像实时监测系统,采集液层温度变化过程的红外热像,从而判断反应启动时长....
关键词：砷化镓 腐蚀 红外辐射 实时监测 液滴 
硅微机械加工技术
《中国集成电路》2007年第2期94-94,共1页
本书着重介绍了硅微加工技术中应用的各种方法，包括各向异性湿法化学腐蚀，硅片键合，表面微机械加工，硅的各向同性湿法化学腐蚀，
关键词：硅微机械加工技术 湿法化学腐蚀 表面微机械加工 微加工技术 各向异性 硅片键合 各向同性 
硅微机械加工技术
《电子工程师》2006年第12期57-57,共1页
微机械的全称为微电子机械系统，是以微电子技术和微加工技术为基础的一项新技术。目前主要应用的是硅微加工方法。本书着重介绍了硅微加工技术中应用的各种方法，包括各向异性湿法化学腐蚀、硅片键合、表面微机械加工、硅的各向同性湿...
关键词：硅微机械加工技术 湿法化学腐蚀 微电子机械系统 表面微机械加工 微加工技术 等离子腐蚀 微电子技术 加工方法 
Si基外延GaN中位错的光助湿法化学显示
《Journal of Semiconductors》2006年第6期1046-1050,共5页赵丽伟 刘彩池 滕晓云 郝秋艳 朱军山 孙世龙 王海云 徐岳生 冯玉春 郭宝平 
教育部新世纪优秀人才支持计划;河北省自然科学基金(批准号:E2005000042)资助项目~~
采用1000W卤钨灯作为光源,对GaN外延膜在KOH溶液中进行化学腐蚀,以显示晶体位错.采用扫描电子显微镜、原子力显微镜观察位错密度及表面形貌,得到了清晰的腐蚀图形.提出了腐蚀机理,光照激发位错处产生电子空穴对,加速位错处的腐蚀速率.Ga...
关键词：GAN 湿法化学腐蚀 六角腐蚀坑 
金属有机化学气相沉积生长的GaN膜中V缺陷研究被引量：1
《液晶与显示》2006年第1期38-42,共5页赵丽伟 滕晓云 郝秋艳 朱军山 张帷 刘彩池 
教育部新世纪优秀人才支持计划;河北省自然科学基金资助项目(No.E2005000042)
利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,在Si(111)衬底上外延生长不同厚度的GaN。外延层薄的GaN表面存在大量的V缺陷,并且V缺陷的两侧有相互平行的带状高坡;外延层厚的GaN表面没有V缺陷,表面平整且晶体质量高。位错处存在晶格畸变,杂质...
关键词：GAN V缺陷 湿法化学腐蚀 六角腐蚀坑 
湿法腐蚀工艺被引量：1
《导航与控制》2005年第4期42-43,共2页孙洪强 徐宇新（审核） 
湿法化学腐蚀是最早用于微机械结构制造的加工方法。所谓湿法腐蚀，就是将晶片置于液态的化学腐蚀液中进行腐蚀，在腐蚀过程中，腐蚀液将把它所接触的材料通过化学反应逐步浸蚀溶掉。用于化学腐蚀的试剂很多，有酸性腐蚀剂，碱性腐蚀剂...
关键词：湿法化学腐蚀 腐蚀工艺 微机械结构 腐蚀剂 加工方法 湿法腐蚀 腐蚀过程 化学反应 各向异性 各向同性 
PCR生物芯片微反应腔的制作及其热分析被引量：5
《微纳电子技术》2003年第7期321-323,327,共4页刘大震 闫卫平 郭吉洪 杜立群 
国家自然科学基金资助项目 (60 1740 3 4)
在PCR生物芯片的制作过程中 ,微反应腔制作是关键部分之一。本文利用硅基微机械加工工艺 ,分别采用湿法化学腐蚀、干法等离子体刻蚀及两者相结合的方法进行了微反应腔的制作。通过扫描电镜分析 ,证明干法和湿法腐蚀相结合的制作工艺能...
关键词：PCR 生物芯片 微反应腔 热分析 微机械加工工艺 湿法化学腐蚀 干法等离子体刻蚀 
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