硅微机械加工技术  

出　　处：《电子工程师》2006年第12期57-57,共1页Electronic Engineer

摘　　要：微机械的全称为微电子机械系统，是以微电子技术和微加工技术为基础的一项新技术。目前主要应用的是硅微加工方法。本书着重介绍了硅微加工技术中应用的各种方法，包括各向异性湿法化学腐蚀、硅片键合、表面微机械加工、硅的各向同性湿法化学腐蚀、微机械加工技术中干法等离子刻蚀技术、远程等离子腐蚀、高深宽比沟槽腐蚀、微型结构的铸模等内容。

关 键 词：硅微机械加工技术 湿法化学腐蚀 微电子机械系统 表面微机械加工 微加工技术 等离子腐蚀 微电子技术 加工方法 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]