湿法腐蚀工艺  

Wet Etching Process

作　　者：孙洪强 徐宇新（审核） 

出　　处：《导航与控制》2005年第4期42-43,共2页Navigation and Control

摘　　要：湿法化学腐蚀是最早用于微机械结构制造的加工方法。所谓湿法腐蚀，就是将晶片置于液态的化学腐蚀液中进行腐蚀，在腐蚀过程中，腐蚀液将把它所接触的材料通过化学反应逐步浸蚀溶掉。用于化学腐蚀的试剂很多，有酸性腐蚀剂，碱性腐蚀剂以及有机腐蚀剂等。根据所选择的腐蚀剂，又可分为各向同性腐蚀和各向异性腐蚀剂。

关 键 词：湿法化学腐蚀 腐蚀工艺 微机械结构 腐蚀剂 加工方法 湿法腐蚀 腐蚀过程 化学反应 各向异性 各向同性 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]