BSRF上的微细塑铸研究  

Research on moulding of microstructure at BSRF

作　　者：韩勇[1] 彭良强[1] 陈迪[2] 伊福廷[1] 张菊芳[1] 黄军容[1] 

机构地区：[1]中国科学院高能物理研究所,北京100039 [2]上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海200030

出　　处：《微纳电子技术》2003年第7期145-146,共2页Micronanoelectronic Technology

基　　金：863计划 (2 0 0 2AA40 415 0 );中国科学院知识创新工程基金(U 5 16 5 );北京市自然科学基金 (3 0 2 2 0 0 5 )

摘　　要：利用北京同步辐射装置 (BSRF)上的LIGA技术制作了镍模具 ,试验了溶液浇铸、反应浇铸、大气模压、真空模压四种不同的塑铸方法。结果表明采用自制模压装置 ,采用排气法可以获得与真空模压相近的效果 ;真空模压在这四种方法中具有最好的精度 ,但若不进行工艺参数优化 。Four moulding methods (solution cast, reaction cast, hot embossing under air and hot embossing under vacuum) using Ni mould by standard LIGA process have been researched. It is shown that hot embossing under vacuum has the best precision and hot embossing under air can be used to obtain the results close to hot embossing under vacuum by exhaust.

关 键 词：BSRF 同步辐射装置 微细塑铸 UGA技术 镍模具 溶液浇铸 反应浇铸 大气模压 真空模压 塑铸技术 

分 类 号：TG241[金属学及工艺—铸造]