黄军容

作品数：6被引量：12H指数：2
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供职机构：中国科学院高能物理研究所更多>>
发文主题：LIGA技术PMMA微细加工微细电火花加工电火花加工更多>>
发文领域：电子电信金属学及工艺化学工程理学更多>>
发文期刊：《核技术》《微纳电子技术》《电加工与模具》《过滤与分离》更多>>
所获基金：北京市自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程更多>>
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基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究被引量：4
《电加工与模具》2004年第B05期39-41,共3页邹丽芸 张院春 彭良强 黄军容 伊福廷 张菊芳 韩勇 
北京市自然科学基金资助项目 (3 0 2 2 0 0 5 );国家 863高技术研究发展计划资助项目 (2 0 0 2AA43 115 0和 2 0 0 3AA40 40 40 )
比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构 ,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光。结合LIGA技术和微细电火花加工的优点 ,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极 ,再用该工具电极进行微细电火花加工 ,在不锈钢上加工出异...
关键词：微细加工 LIGA技术 电火花加工 活动掩膜法 固定掩膜法 PMMA胶 
BSRF上的微细塑铸研究
《微纳电子技术》2003年第7期145-146,共2页韩勇 彭良强 陈迪 伊福廷 张菊芳 黄军容 
863计划 (2 0 0 2AA40 415 0 );中国科学院知识创新工程基金(U 5 16 5 );北京市自然科学基金 (3 0 2 2 0 0 5 )
利用北京同步辐射装置 (BSRF)上的LIGA技术制作了镍模具 ,试验了溶液浇铸、反应浇铸、大气模压、真空模压四种不同的塑铸方法。结果表明采用自制模压装置 ,采用排气法可以获得与真空模压相近的效果 ;真空模压在这四种方法中具有最好的精...
关键词：BSRF 同步辐射装置 微细塑铸 UGA技术 镍模具 溶液浇铸 反应浇铸 大气模压 真空模压 塑铸技术 
3B1束线上LIGA掩模的设计研究
《微纳电子技术》2003年第7期147-150,共4页黄军容 彭良强 伊福廷 蒋毅坚 张菊芳 韩勇 
863计划 (2 0 0 2AA43 115 0 );中国科学院知识创新工程基金(U 5 16 5 );北京市自然科学基金(3 0 2 2 0 0 5 )
BSRF中的 3B1光束线与LIGA实验站过去使用的 3W 1光束线相比 ,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱 ,但可实现专用光和兼用光两用。现在LIGA实验站移到 3B1光束线 ,为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作。结合此研究目的 ,本文通过使用XOP和...
关键词：3B1光束线 光刻工艺 LIGA掩模 设计 掩模 X射线 
利用LIGA技术制作过滤介质被引量：3
《过滤与分离》2002年第4期11-13,共3页黄军容 彭良强 伊福廷 张菊芳 韩勇 黄军容 蒋毅坚 
中国科学院高能物理研究所知识创新工程基金资助项目(U-516-5);北京市自然科学基金资助项目(2002005)
LIGA技术具有加工精度高,深宽比大,表面平整,应用领域广等优点,是一种先进的微细加工方法。将LIGA技术的这些优点充分用于过滤介质的制作中,能改善过滤介质的力学强度、机械性能、流阻大小、可再生性等过滤性能。实验中,通过选用不同的...
关键词：过滤介质 LIGA技术 制作 
LIGA工艺在工程中的两类应用被引量：5
《核技术》2002年第10期883-888,共6页高杨 李枚 彭良强 张菊芳 黄军容 
本文从LIGA工艺的工程应用角度 ,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题 。
关键词：LIGA工艺 应用 密码锁 加速度开关 MEMS 微电子机械系统 同步辐射光剂 微电铸 微塑铸 
LIGA技术制备正电子慢化体的实验研究
《核技术》2002年第10期893-896,共4页黄军容 彭良强 伊福廷 于润升 魏龙 蒋毅坚 张菊芳 韩勇 
中国科学院高能物理研究所知识创新工程 (U - 5 16 - 5 );北京市自然科学基金 (2 0 0 2 0 0 5 )资助
LIGA技术具有加工精度高、深宽比大、表面平整、应用领域广等优点 ,是一种先进的微细加工方法。实验中将LIGA技术的优点用于正电子慢化体的制作中 ,能获得传统加工方法无法制作出的薄壁网状多孔镍结构 ,满足新型正电子慢化体的制备要求。
关键词：LIGA技术 制备 实验研究 正电子慢化体 同步辐射 X光光刻 电铸 塑铸 
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