LIGA工艺在工程中的两类应用  

Two engineering applications of LIGA technology

作　　者：高杨[1] 李枚[2] 彭良强[3] 张菊芳[3] 黄军容[3] 

机构地区：[1]上海交通大学微纳米科学技术研究院,上海200030 [2]中国工程物理研究院电子工程研究所,绵阳621900 [3]中国科学院高能物理研究所,北京100039

出　　处：《核技术》2002年第10期883-888,共6页Nuclear Techniques

摘　　要：本文从LIGA工艺的工程应用角度 ,简要介绍微小型安全密码锁机构、微小型加速度开关结构的基本设计问题和工艺问题 。Based on the viewpoints of engineering applications of LIGA technology, essential design and fabrication challenges of Micro/Milli- safety combination lock mechanisms and Micro/Milli- acceleration switch are briefly presented. Demands and requirements of those two devices' LIGA fabrication process are also outlined in the paper.

关 键 词：LIGA工艺 应用 密码锁 加速度开关 MEMS 微电子机械系统 同步辐射光剂 微电铸 微塑铸 

分 类 号：TN405.7[电子电信—微电子学与固体电子学] TG249.9[金属学及工艺—铸造]