Si3N4微尺度薄膜的热物性  

作　　者：宋青林[1] 夏善红[1] 陈绍凤[1] 张建刚[1] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室，北京100080

出　　处：《Journal of Semiconductors》2003年第B05期47-50,共4页半导体学报（英文版）

摘　　要：Si3N4薄膜被广泛应用于微机械和微电子器件中，其热物性在某些器件中显得很重要，为了研究Si3N4薄膜的热容、辐射、对流等热物性，文中设计出一种悬膜结构，并从理论上分析了此结构的传热机理，实验中利用微机械加工技术制作出不同尺寸和厚度的Si3N4微尺度悬膜，并通过测试得到了Si3N4薄膜的热学参数。

关 键 词：热物性 热容 悬膜 

分 类 号：O484.4[理学—固体物理]