宋青林

作品数：16被引量：43H指数：5
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供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文主题：压力传感器热导率尺寸效应SI热物性更多>>
发文领域：自动化与计算机技术理学机械工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《半导体技术》《物理学进展》《传感器世界》《Journal of Semiconductors》更多>>
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固体微/纳米尺度传热理论研究进展被引量：6
《物理学进展》2004年第4期424-435,共12页吕曜 宋青林 夏善红 
国家973项目资助(G1999033102)
　随着半导体技术的飞速发展,器件的尺寸已进入到微/纳米尺度。由于量子效应、表面及界面效应,使得微尺度下的热物性与宏观尺度下有了明显的区别。人们针对微观传热领域的特点,发展了声子玻尔兹曼传输方程、分子动力学等方法,取得了一...
关键词：声子 非平衡态 纳米尺度 传输方程 固体 分子动力学 微尺度 热物性 界面效应 量子效应 
Si_3N_4微尺度薄膜比热特性测量研究被引量：1
《测控技术》2004年第3期5-6,9,共3页宋青林 夏善红 陈绍凤 张建刚 
国家"973"资助项目 (G19990 3 3 10 2 )
比热是Si3 N4薄膜重要的热学参数之一 ,Si3 N4薄膜比热特性研究对热传原理传感器研究和发展以及物质微尺度热学特性的研究有重要的意义。本研究设计并制作出一种悬膜结构 ,从理论上分析了此结构的传热机理 ,并通过实验测得Si3 N4薄膜的...
关键词：比热 悬膜 温度系数 
压力传感器灵敏度电压非线性分析被引量：5
《电子器件》2004年第1期31-34,共4页宋青林 孙以材 多旭亮 
国家"973"项目(G1999033102);国家自然科学基金(69672015)
实验发现压阻型压力传感器的压力输出信号与外加电压并不是线性关系,存在着灵敏度电压非线性。本文指出组成压阻型压力传感器电桥的电阻受温度、输入电压、压力的共同影响,在此基础上提出非线性扩散电阻的多维模型。依据此理论模型,对...
关键词：压力传感器 零点电漂移 灵敏度电压非线性 
薄膜热导率测量结构的研究被引量：5
《仪器仪表学报》2004年第z1期228-229,共2页宋青林 夏善红 陈绍凤 吕耀 
国家973资助项目(G1999033102)。
提出了一种用于薄膜热导率测量的微器件。利用微机械加工技术制作出相应的结构,其桥状薄膜的面积为800μm×2000μm,悬梁的面积为30μm×100μm,薄膜电阻经悬梁穿过氮化硅薄膜用于加热和测温。薄膜上的热流和温度分布十分均匀,可减小系...
关键词：薄 膜 热导率 桥状结构 
一种用于薄膜热容测量的微热量计的设计与制作被引量：1
《微纳电子技术》2003年第7期122-125,共4页宋青林 崔铮 夏善红 陈绍凤 
国家"973"计划项目 (G19990 3 3 10 2 )
目前已发现并证实薄膜的热导率和热扩散率存在着尺寸效应。本文为了研究薄膜的另一个热学性质比热是否也具有尺寸效应 ,提出了一种用于薄膜热容测量的新方法 ,其相应的实验器件为一悬膜结构。从理论上阐述了其测量原理 ,结合ANSYS热学...
关键词：薄膜材料 热容测量 微热量计 设计 比热 悬膜 尺寸效应 热学模拟 
Si3N4微尺度薄膜的热物性
《Journal of Semiconductors》2003年第B05期47-50,共4页宋青林 夏善红 陈绍凤 张建刚 
Si3N4薄膜被广泛应用于微机械和微电子器件中，其热物性在某些器件中显得很重要，为了研究Si3N4薄膜的热容、辐射、对流等热物性，文中设计出一种悬膜结构，并从理论上分析了此结构的传热机理，实验中利用微机械加工技术制作出不同尺寸...
关键词：热物性 热容 悬膜 
碳纳米管的场发射特性被引量：2
《Journal of Semiconductors》2003年第B05期166-169,共4页陈绍凤 夏善红 宋青林 胡平安 刘云圻 朱道本 
研究了碳纳米管的场致发射特性，实验证明碳纳米管作为场发射阴极材料具有优越性。通过对碳纳米管进行温度处理，得到了与基片附着力强的碳纳米管；测试了场发射特性，发现碳纳米管其开启电压较低(30V)。
关键词：碳纳米管 场致发射 一致性 
微纳米薄膜的悬浮腐蚀法
《Journal of Semiconductors》2003年第B05期104-106,共3页陈绍凤 夏善红 宋青林 张建刚 
介绍了一种腐蚀薄膜的研制方法及其装置，为制备带有各种金属引线及电极的大面积超薄悬浮薄膜(厚度：50～500nm、1～5μm；面积：3mm×2mm、10mm×5mm)提供了一种有效的方法．提高成品率30％，具有装置结构简单、支架体积小、质量轻、...
关键词：悬浮 薄膜 腐蚀 
微尺度薄膜热导率测试技术被引量：10
《物理学进展》2002年第3期283-295,共13页宋青林 夏善红 陈绍凤 张建刚 
国家 973项目 (G1 9990 331 0 2 )
随着器件尺寸进入到微 /纳米尺度 ,其热物性与体材料相比有了很大差别。在器件热性能和可靠性研究过程中 ,对热导率的测量成为了关键技术之一。本文概述了SiO2 、SiNx、金刚石等薄膜在微小型器件中的用途及其热导率测试技术的发展 。
关键词：微尺度 测试技术 薄膜 热导率 傅立叶传热方程 扫描热显微镜 
零点电漂移作为压力传感器特性指标的讨论
《传感器世界》2002年第4期16-20,31,共6页孙以材 高振斌 宋青林 孙冰 
国家自然科学基金资助课题 批准号:69672015
当测定不同压力传感器的特性时,发现均存在零点电漂移现象.本文从理论上分析指出,力敏电桥的零点电漂移起因于桥臂电阻的非线性.后者与扩散电阻的有效导电层宽度随外加电压变化及反向漏电有关.温度在50～60℃以下时,反向漏电的影响可忽...
关键词：零点电漂移 特性指标 压力传感器 
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