微纳米薄膜的悬浮腐蚀法  

作　　者：陈绍凤[1] 夏善红[1] 宋青林[1] 张建刚[1] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室，北京100080

出　　处：《Journal of Semiconductors》2003年第B05期104-106,共3页半导体学报（英文版）

摘　　要：介绍了一种腐蚀薄膜的研制方法及其装置，为制备带有各种金属引线及电极的大面积超薄悬浮薄膜(厚度：50～500nm、1～5μm；面积：3mm×2mm、10mm×5mm)提供了一种有效的方法．提高成品率30％，具有装置结构简单、支架体积小、质量轻、易于加工、操作方便、经济耐用、造型可根据器件需要加工设计等优点。

关 键 词：悬浮 薄膜 腐蚀 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理]