吕耀

作品数：1被引量：5H指数：1
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薄膜热导率测量结构的研究被引量：5
《仪器仪表学报》2004年第z1期228-229,共2页宋青林 夏善红 陈绍凤 吕耀 
国家973资助项目(G1999033102)。
提出了一种用于薄膜热导率测量的微器件。利用微机械加工技术制作出相应的结构,其桥状薄膜的面积为800μm×2000μm,悬梁的面积为30μm×100μm,薄膜电阻经悬梁穿过氮化硅薄膜用于加热和测温。薄膜上的热流和温度分布十分均匀,可减小系...
关键词：薄 膜 热导率 桥状结构 
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