开放式多功能扫描探针显微镜系统  

The Open Multi-function Scanning Probe Microscope

作　　者：吴浚瀚[1,2] 杨德亮[1,2] 吴浚泓 袁伟华 黄桂珍[1,2] 牟涛 商广义[1,2] 万立骏[1,2] 白春礼[1,2] 

机构地区：[1]中国科学院化学研究所分子纳米结构与纳米技术重点实验室 [2]中国科学院化学研究所本原纳米仪器有限公司

出　　处：《现代科学仪器》2003年第2期36-38,共3页Modern Scientific Instruments

摘　　要：开放式多功能扫描探针显微镜、集成扫描隧道显微镜、原子力显微镜、横向力显微镜和静电力显微镜 ,具有接触、半接触和非接触工作模式 ,可进行作用力、电流、电位、光能量等参数的高度局域综合测量 ,具有极高的开放性和可扩展性 。The multi function open scanning probe microscope (SPM), which includes scanning tunneling microscope (STM), atomic force microscope (AFM), lateral force microscope (LFM) and electrostatic force microscope (EFM) with contact mode, tapping mode and non contact mode, is introduced in this paper.

关 键 词：扫描探针显微镜 原子力显微镜 扫描隧道显微镜 开放式 多功能 纳米科技 

分 类 号：TH742[机械工程—光学工程]