SnO_2气敏膜的生成方法概况  

The general situation of SnO2 gas sensor membrane' s generation

作　　者：康学勤[1] 孙智[1] 赵宇龙[1] 杨春敏[1] 

机构地区：[1]中国矿业大学机电与材料工程学院,江苏徐州221008

出　　处：《煤矿机械》2004年第2期89-91,共3页Coal Mine Machinery

摘　　要：介绍了现存的SnO_2的生成方法,分析了影响SnO_2薄膜的一些因素以及这些因素在实验中对SnO_2薄膜厚度及性质的影响,为今后研究SnO_2薄膜的生成方法打下了基础。The formulation methods of SnO2 have been introduced in this paper. The paper also analysed the impact influences on thickness and properties of SnO2. It will be the foundation to study the formulation methods of SnO2.

关 键 词：气敏性 SNO2薄膜 传感器 溅射 

分 类 号：TB321[一般工业技术—材料科学与工程] TB381