SNO2薄膜

作品数:79被引量:177H指数:6
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超声膨胀纳米团簇束流沉积SnO2薄膜的氢敏性能研究
《苏州科技大学学报(自然科学版)》2024年第3期28-35,共8页叶建民 乔智鸿 李盈 赵蒙 
国家自然科学基金项目(11974304,12074282);江苏省高等学校自然科学基金项目(21KJA460008);苏州市科学技术研究项目(SYG202140)。
氢能源发展如火如荼,氢燃料电池、高压储氢等技术蓬勃发展,但氢气传感器发展却相对落后,主要原因是现有制备手段难以获得兼具小晶粒尺寸和高疏松度的敏感薄膜。论文采用超声膨胀团簇束沉积技术制备了高度疏松的氧化锡薄膜,并研究了退火...
关键词:氢气传感器 SnO_(2) 超声膨胀团簇束沉积 退火样品 氢敏性能 
微量Al掺杂对溅射于玻璃衬底的SnO2薄膜结构及光学特性的影响被引量:1
《稀有金属材料与工程》2021年第5期1513-1517,共5页李院院 张子怡 管佳豪 李莉 李姝丽 成桢 杨睿 张云哲 赵小侠 徐可为 
Xi’an Science and Technology Project(2019KJWL05)。
采用射频(RF)磁控溅射法在玻璃衬底上制备了低浓度Al掺杂(≤1mol%)的SnO2系列薄膜。通过X射线衍射、扫描电镜、紫外-红外光谱仪及光致发光(PL)实验,展现了薄膜的晶体结构及光学特性。结果表明:当Al浓度增加时,薄膜晶格常数c减小,表明Al...
关键词:SNO2薄膜 射频磁控溅射 晶体结构 光学特性 
掺杂离子对SnO2薄膜光电性能的影响
《信息记录材料》2020年第11期17-19,共3页谢清爽 刘星 
四川文理学院校级科研项目(2019KZ005Z)。
以金属无机盐Sncl2·2H2O、Alcl3·6H2O、Cucl2·2H2O、Mncl2·4H2O和无水乙醇作为原始材料,运用溶胶-凝胶法在普通玻璃基底上制备未掺杂以及掺杂Al、Cu、Mn的SnO2透明导电薄膜。论文重点研究了不同的掺杂离子类型、离子掺杂浓度以及热...
关键词:SNO2薄膜 溶胶-凝胶法 光电性能 
多孔硅异质结的制备及光电探测性能研究被引量:1
《中国科技信息》2019年第24期55-57,共3页康雁泉 冯君仪 刘佐濂 潘书生 张成云 
广东省大学生攀登计划项目(pdjhb0405);大学生创新训练省级项目(201811078090)资助
利用不同方法制备出多孔硅并在多孔硅上生长透明导电的薄膜,通过多孔硅独特的结构特点与SnO2薄膜形成p-n异质结,研究其光电响应特性,初步结果表明,多孔硅/SnO2薄膜异质结构的光电探测器具良好的响应度以及响应时间,这将拓宽多孔硅异质...
关键词:SNO2薄膜 光电探测器 多孔硅 异质结 响应时间 透明导电 响应度 
SnO2薄膜对锆钛酸铅光电性能的提升被引量:1
《硅酸盐学报》2019年第10期1473-1477,共5页岳建设 李祯 王晓芳 李尔波 师娜 
陕西省大学生创新创业训练计划项目(201828037)
锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜具有良好的铁电–光伏特性,是性能优良的光电器件材料。使用溶胶–凝胶法在单晶硅上制备PZT铁电薄膜,为了增加PZT薄膜的光伏特性,使用气相沉积技术在PZT薄膜表面沉积一层SnO2半导体薄膜。结果表明:光电转化效率从7...
关键词:锆钛酸铅 光伏特性 氧化锡薄膜 化学气相沉积 
基于微加热板的三维SnO2薄膜乙醇传感器被引量:1
《微纳电子技术》2019年第7期564-569,共6页鲍钰胜 熊大元 徐少辉 王连卫 
为了提高气敏传感器性能,设计并制备了玻璃基底的微加热板,包括加热电极和测试叉指电极(IDE),基于微加热板,利用聚苯乙烯(PS)微球作为掩模,使用多次光刻-剥离工艺制备三维多孔SnO2薄膜传感器,研究了有无微球和微球直径对于传感器气敏性...
关键词:气敏传感器 二氧化锡(SnO2) 聚苯乙烯微球 微加热板 乙醇气体 
Al/SnO2/FTO结构双极型电阻开关的制备及其性质研究
《塑料助剂》2019年第3期33-37,共5页赵飞 周磊 王鑫 
通过溶胶凝胶的方法,在FTO衬底上制备得到SnO2薄膜,并对SnO2薄膜的晶体结构以及荧光光谱(PL)进行了研究。XRD结果显示SnO2薄膜为多晶结构,荧光光谱结果表明SnO2薄膜存在氧空位以及氧填隙等缺陷。通过直流磁控溅射在SnO2薄膜上面溅射Al...
关键词:SNO2薄膜 电阻开关 双极型 溶胶凝胶 
SnxSi1-xO2缓冲层对F-SnO2薄膜光电性能的改善
《建筑玻璃与工业玻璃》2019年第5期9-11,8,共4页金运姜 候英兰 蔡振胜 汪世界 汪玉波 郑艺钦 
利用化学气相沉积,在玻璃衬底上生长了SnO2掺氟(FTO)薄膜。X射线衍射测试(XRD)显示所得的FTO薄膜具有四方相结构。通过掺氟可以提高SnO2的电学性质,但掺氟同时也会影响SnO2薄膜的晶体质量,进而导致光学性质的损失。在这项研究工作中,在...
关键词:SNO2薄膜 缓冲层 光电性能 化学气相沉积 电学性质 FTO X射线衍射 表面粗糙度 
二氧化锡透明导电薄膜的研究进展被引量:4
《中国陶瓷》2018年第1期1-6,共6页冯梦现 黄新友 孙景峰 谢逊 陈磊 高春华 
溧阳市科技项目资助(LA2015001)
透明导电薄膜具有透明性和导电性,在平板显示器、太阳能电池、触摸屏等领域有着重要的作用。SnO2是制备透明导电薄膜最具潜力的材料之一。结合国内外SnO2透明导电薄膜的研究现状,主要对SnO2薄膜的透明导电原理、制备方法和掺杂改性研究...
关键词:SNO2薄膜 制备方法 掺杂改性 研究进展 导电薄膜 
简易化学水浴法制备SnO_2/p-Si异质结光电性能(英文)被引量:1
《红外与毫米波学报》2017年第2期139-143,共5页何波 徐静 宁欢颇 赵磊 邢怀中 张建成 秦玉明 张磊 
Supported by the Fund of Shanghai Alliance Project(LM201601);the Fund of the Key Laboratory for Ultrafine Materials of The Ministry of Education(15Q10932);the Fundamental Research Funds for the Central Universities,China(16D110916);National Natural Science Foundation of China(11672077)
通过一种简易化学水浴法将SnO_2薄膜沉积在晶硅衬底上以制备n-SnO_2/p-Si异质结光电器件,这种自制的化学水浴装置非常便宜和方便.采用XRD、SEM、XPS、PL、紫外-可见光分光光度计和霍尔效应测试系统表征了SnO_2薄膜的微结构、光学和电学...
关键词:SNO2薄膜 化学水浴法 异质结 I-V曲线 
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