三维扫描技术在薄膜厚度分布测量中的应用  

3D Scanner on Thickness Distribution of Uneven Transparent Film

作　　者：李鸣明[1] 孙燕[2] 赵宏[1] 

机构地区：[1]西安交通大学机械学院激光与红外应用研究所,西安710049 [2]空军工程大学工程学院,西安710038

出　　处：《光子学报》2004年第1期90-92,共3页Acta Photonica Sinica

基　　金：西安交通大学行动计划资助项目

摘　　要：提出了利用相位跟踪法测量薄膜厚度分布的新方法 ,介绍了测量系统各部分的结构 ,给出了测量结果 实验表明 ,对于硅片上的PbTiO3薄膜 ,测试误差小于A method to obtain film thickness distribution is discussed, which is based on phase tracing principle. Structure of the system is introduced, and result is given. For film coated on silicon floor, deviation is less than7 nm.

关 键 词：宽带光源 白光干涉 相位跟踪 

分 类 号：TH741[机械工程—光学工程]