非制冷型热释电薄膜红外探测器的制备及应用  

Fabrication and Application of Uncooled Pyroelectric Thin Film Infrared Detector

作　　者：刘少波[1] 李艳秋[1] 

机构地区：[1]中国科学院电工研究所微纳电加工部,北京100080

出　　处：《激光与红外》2004年第1期14-17,共4页Laser & Infrared

基　　金：国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90201028);国家"863"计划资助项目(2003AA404150)。

摘　　要：介绍了室温非制冷型热释电薄膜红外探测器的原理和优势。从热释电材料的选择及器件的结构设计等方面阐述了热释电薄膜红外探测器的制备技术和研究动向,并归纳了器件的主要应用领域。This article comprehensively describes the properties and operating principles of pyroelectric infrared detector using thin films.It summarizes the domestic and abroad research results and developing tendency from the aspects of material selection,device structure and preparation process,and sums up the main applications of the devices.

关 键 词：热释电 薄膜 红外探测器 非制冷 性能参数 

分 类 号：TN215[电子电信—物理电子学]