刘少波

作品数:21被引量:146H指数:6
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发文主题:铁电薄膜铁电红外探测器热释电PMNT更多>>
发文领域:电子电信一般工业技术电气工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊:《中国机械工程》《红外与激光工程》《激光与红外》《微细加工技术》更多>>
所获基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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Pb(Sc_(1/2)Ta_(1/2))O_3铁电薄膜的制备及性能研究
《压电与声光》2005年第2期142-144,159,共4页刘梅冬 曾亦可 邓传益 姜胜林 李元昕 李艳秋 刘少波 
国家"八六三"计划先进制造与自动化技术领域资助项目(2003AA404150);国家"八六三"计划新材料领域资助项目(2002AA325080);国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90201028)
用Pb(CH3COO)2·3H2O、Sc(CH3COO)3·xH2O和C10H25O.5Ta为原材料,乙二醇甲醚为溶剂,用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法在Pt/Ti/SO2/Si基片上成功地制备出ABO3钙钛矿型结构Pb(Sc1/2Ta1/2)O3(PST)铁电薄膜。该薄膜是研制铁电微型致冷器和非致...
关键词:铁电薄膜 Pb(Sc1/2Ta1/2)O3 溶胶-凝胶 铁电性 热释电性 
微型MEMS致冷器的研究新动向
《压电与声光》2005年第1期30-33,共4页刘少波 李艳秋 刘梅冬 曾亦可 
国家"八六三"计划基金资助项目(2003AA404150);中科院"引进国外杰出人才基金"2001年基金资助项目
微机电系统(MEMS)与超大规模集成电路(ULIC)进一步微型化与集成化,急需微型冷却系统对其芯片等进行局部冷却。因此,基于硅微机械加工工艺的微型致冷器被提上研究日程,并有望发展成为无压缩机、无机械部件的新型致冷器。着重介绍了微型M...
关键词:微型MEMS致冷器 pn结热电薄膜 铁电薄膜 电生热效应 塞贝克效应 
O.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-O.1PbTiO3功能铁电薄膜的制备及其电性能研究
《中国机械工程》2005年第z1期359-362,共4页张清涛 李艳秋 尚永红 刘少波 
中国科学院"引进国外杰出人才基金"2001年资助项目(20011215);国家863高技术研究发展计划资助项目(2003AA404150)
利用溶胶凝胶(sol-gel)技术制备Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMNT)铁电薄膜,研究了不同的溶剂对溶胶的配制和溶胶稳定性的影响,得到了可以长期稳定放置的溶胶;采用热重分析和差热分析的方法研究了凝胶的热解过程,确定了420℃为溶胶的热解温...
关键词:Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMNT) 溶胶凝胶 铁电薄膜 钙钛矿相 
多级MEMS铁电制冷器有限元分析
《中国机械工程》2005年第z1期260-262,共3页尚永红 李艳秋 张清涛 刘少波 
国家863高技术研究发展计划资助重大项目(2003AA404150);中国科学院引进国外杰出人才基金资助项目(20011215)
在试验的基础上,利用有限元方法建立数学模型,从理论上对多级MEMS铁电制冷器在不同工况下的温度场进行了研究.数值计算结果表明,所有制冷片同时工作时温降比交替工作时要大,在同工况下,层间加压有时间差有利于减弱温度波动,这对研究MEM...
关键词:MEMS 铁电制冷 微型制冷器 PMNT 有限元法 
改进sol-gel技术BST薄膜的制备及性能研究被引量:4
《功能材料》2004年第3期365-367,共3页姜胜林 曾亦可 刘少波 刘梅冬 
国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90201028);国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA325080)
 为了制备高性能BST薄膜,采用改进的溶胶 凝胶(sol gel)方法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了不同结构、不同组成的BST薄膜;研究了BST薄膜的微观结构及其介电、铁电性能。XRD分析表明,当热处理温度为750℃时,得到完整钙钛矿结构的薄膜材...
关键词:改进sol-gel方法 BST薄膜 电性能 
铁电薄膜热释电非致冷红外传感器研究被引量:5
《仪表技术与传感器》2004年第2期3-4,28,共3页刘梅冬 陈实 李元昕 曾亦可 姜胜林 邓传益 刘少波 
国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90201028);"863"计划新材料领域资助项目(2002AA325080)
阐述了铁电薄膜热释电非致冷红外传感器的工作原理,对铁电薄膜材料的要求及sol gel铁电薄膜电性能。研究了BST铁电薄膜红外传感器的制备工艺与测试方法。研制出单元和8元、9元、10元线列铁电薄膜热释电非致冷红外传感器。
关键词:铁电薄膜 热释电效应 铁电材料 非致冷红外传感器 
新型MEMS致冷器研究被引量:1
《电子工业专用设备》2004年第1期21-25,共5页刘少波 
微机电系统(MEMS)与超大规模集成电路(ULIC)进一步微型化与集成化,急需微型冷却系统对其芯片等进行局部冷却。因此,基于硅微机械加工工艺的微型致冷器被提上研究日程,并有望发展成为无压缩机、无机械部件、低功耗的新型致冷器。着重介...
关键词:微型MEMS致冷器 pn结热电薄膜 铁电薄膜 电生热效应 Seeback效应 
非制冷型热释电薄膜红外探测器的制备及应用被引量:2
《激光与红外》2004年第1期14-17,共4页刘少波 李艳秋 
国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90201028);国家"863"计划资助项目(2003AA404150)。
介绍了室温非制冷型热释电薄膜红外探测器的原理和优势。从热释电材料的选择及器件的结构设计等方面阐述了热释电薄膜红外探测器的制备技术和研究动向,并归纳了器件的主要应用领域。
关键词:热释电 薄膜 红外探测器 非制冷 性能参数 
铅掺杂对BST铁电薄膜性能的影响
《功能材料》2004年第z1期1315-1319,共5页姜胜林 曾亦可 刘少波 刘梅冬 
国家高技术研究发展计划资助项目(2002AA325080);国家自然科学基金重大研究计划项目(90201028)
为了改善BST铁电薄膜的结晶性能,降低薄膜材料的铁电弛豫和弥散相变特性,采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)方法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了不同铅掺杂的BST薄膜(PBST).研究了PBST薄膜的微观结构及其介电、铁电性能.XRD、AFM分析表明,铅...
关键词:铅掺杂 BST铁电薄膜 结晶性能 铁电弛豫和弥散相变 
热释电薄膜单片式非致冷红外焦平面阵列的研究被引量:2
《微纳电子技术》2003年第11期9-12,共4页刘少波 李艳秋 刘梅冬 
中国科学院"引进国外杰出人才基金"2001年资助项目;国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90201028);国家"863"计划资助项目(2003AA404150)
采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)技术,在Pt/Ti/SiO2/Si3N4/SiO2/Si基片上研制出具有优良热释电性能的BST,PLT和PZT铁电薄膜,它们是制备单片式非致冷红外焦平面阵列的优选探测材料。解决了制备热释电薄膜单片式非致冷红外焦平面阵列的关键...
关键词:单片式 非致冷红外焦平面阵列 热释电 铁电薄膜 sol-gel技术 刻蚀 
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