O.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-O.1PbTiO3功能铁电薄膜的制备及其电性能研究  

Preparation and Property Research of 0.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.1PbTiO3 Thin Films

作　　者：张清涛[1] 李艳秋[1] 尚永红[1] 刘少波[1] 

机构地区：[1]中国科学院电工技术研究所,北京,100080 中国科学院电工技术研究所,北京,100080 中国科学院电工技术研究所,北京,100080 中国科学院电工技术研究所,北京,100080

出　　处：《中国机械工程》2005年第z1期359-362,共4页China Mechanical Engineering

基　　金：中国科学院"引进国外杰出人才基金"2001年资助项目(20011215);国家863高技术研究发展计划资助项目(2003AA404150)

摘　　要：利用溶胶凝胶(sol-gel)技术制备Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMNT)铁电薄膜,研究了不同的溶剂对溶胶的配制和溶胶稳定性的影响,得到了可以长期稳定放置的溶胶;采用热重分析和差热分析的方法研究了凝胶的热解过程,确定了420℃为溶胶的热解温度,750℃为合理的结晶温度;以Pt/Ti/Si(100)为衬底,成功地制备了0.9Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.1PbTiO3铁电薄膜.通过X射线衍射分析了热处理温度对薄膜相的影响.通过高倍显微镜研究了薄膜的表面形态,通过ZT-Ⅱ型铁电参数测试仪对PMNT薄膜进行了铁电性能测试.测试结果表明,制备的PMNT铁电薄膜为具有完全钙钛矿相的弛豫性PMNT铁电薄膜,薄膜无裂纹,致密性好,其剩余极化和矫顽场分别可达到2.5μC/cm2和45kV/cm.

关 键 词：Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3(PMNT) 溶胶凝胶 铁电薄膜 钙钛矿相 

分 类 号：TN384[电子电信—物理电子学]