多级MEMS铁电制冷器有限元分析  

Finite Element Analysis of Multi-layer MEMS Ferroelectric Microcoolers

作　　者：尚永红[1] 李艳秋[1] 张清涛[1] 刘少波[1] 

机构地区：[1]中国科学院电工研究所,北京,100080 中国科学院电工研究所,北京,100080 中国科学院电工研究所,北京,100080 中国科学院电工研究所,北京,100080

出　　处：《中国机械工程》2005年第z1期260-262,共3页China Mechanical Engineering

基　　金：国家863高技术研究发展计划资助重大项目(2003AA404150);中国科学院引进国外杰出人才基金资助项目(20011215)

摘　　要：在试验的基础上,利用有限元方法建立数学模型,从理论上对多级MEMS铁电制冷器在不同工况下的温度场进行了研究.数值计算结果表明,所有制冷片同时工作时温降比交替工作时要大,在同工况下,层间加压有时间差有利于减弱温度波动,这对研究MEMS制冷器的结构及运行方式有重要意义.

关 键 词：MEMS 铁电制冷 微型制冷器 PMNT 有限元法 

分 类 号：TN384[电子电信—物理电子学] TN40