BST铁电薄膜

作品数：20被引量：37H指数：4
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相关领域：电子电信一般工业技术电气工程更多>>
相关作者：刘少波曾亦可胡文成刘梅冬朱时珍更多>>
相关机构：华中科技大学电子科技大学天津大学中国科学院更多>>
相关期刊：《南开大学学报（自然科学版）》《压电与声光》《化工时刊》《武汉理工大学学报》更多>>
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BST铁电薄膜的制备及介电性能研究被引量：1
《压电与声光》2020年第3期340-344,共5页黄歆 樊青青 翟禹光 黄玮 李俊红 汪承灏 
通过射频磁控溅射法,采用高温溅射、低温溅射高温退火两种不同的工艺制备了钛酸锶钡(BST)薄膜。分析两种不同的工艺对BST薄膜的结构、微观形貌及介电性能的影响。采用X线衍射(XRD)分析了样品的微观结构。采用扫描电镜(SEM)和台阶仪分别...
关键词：磁控溅射法 钛酸锶钡(BST)薄膜 高温溅射 低温溅射高温退火 介电性能 
BST铁电薄膜移相器应用于天线阵的研究被引量：2
《南开大学学报（自然科学版）》2020年第1期81-84,共4页郑立方 金杰 李茜 张强 张明振 
国家自然科学基金(61571320)。
采用共面波导型钛酸锶钡(BST)铁电薄膜移相器作为工作于16 GHz的1×4微带贴片天线阵的移相单元,利用全波电磁仿真软件,对加载BST铁电薄膜移相器的天线阵进行建模、仿真和优化.研究结果表明:加载BST铁电薄膜移相器的天线阵辐射方向可随...
关键词：共面波导 BST铁电薄膜 微带天线阵 辐射方向图 
BST铁电薄膜高频特性的仿真分析研究被引量：2
《电子元件与材料》2016年第4期29-34,共6页陈明明 张丛春 谢意达 丁桂甫 赵小林 高杨 
中物院超精密加工技术重点实验室开放基金资助(No.KF13001)
通过微波软件建模和理论分析方法来分析BST铁电薄膜材料在微波集成电路中的应用,旨在指导器件设计。借助microwave office和Ansoft HFSS&Q3D两个商业软件,构造微带传输线,共面波导传输线,微带低通滤波器和信号串扰等模型,并分析了加入...
关键词：微波传输 BST薄膜 群延时 S参数 串扰 仿真 
BST铁电薄膜的水基溶胶-凝胶工艺被引量：1
《稀有金属材料与工程》2008年第A02期102-106,共5页朱时珍 向飞 朱满康 刘颖 徐强 
采用水基溶胶-凝胶工艺成功地制备了成分均匀的Ba0.7Sr0.3TiO3／Si铁电薄膜。利用光镜、SEM、TEM、XRD等手段对溶胶．凝胶和薄膜的结构、形貌进行了表征，分析了水解聚合过程和水解程度对溶胶．凝胶产物的影响，研究了工艺条件对薄膜质...
关键词：BST薄膜 sol—gel 水基前驱体 钙钛矿相 
LSMCD法制备梯度BST铁电薄膜的工艺研究被引量：1
《压电与声光》2007年第6期743-745,共3页白天 张之圣 王秀宇 毕振兴 
"九八五"教育振兴行动计划学科建设基金资助项目
研究了利用液态源雾化化学沉积(LSMCD)法制备梯度钛酸锶钡(BST)薄膜的工艺。该方法既可以较精确的控制薄膜的化学计量比及掺杂浓度,又可采用控制超声雾化沉积的时间和次数来有效的控制膜厚及晶粒的大小。X-射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM...
关键词：液态源雾化沉积 钛酸锶钡 梯度薄膜 钙钛矿相 
溶胶-凝胶法制备BST铁电薄膜的实验教学被引量：2
《实验科学与技术》2007年第6期125-128,141,共5页胡文成 董东 侯高垒 沈怡东 何为 
详细介绍了物理化学创新实验——溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡(BST)铁电薄膜实验的实验原理、步骤,并采用XRD和AFM对不同温度下的BST薄膜进行了表征。实验结果表明,将科研项目开设为创新实验,激发了学生对实验的兴趣、培养学生的创新意识与...
关键词：物理化学 创新实验 溶胶-凝胶法 铁电薄膜 创新意识 
Sol-Gel法制备BST铁电薄膜及性能研究被引量：4
《武汉理工大学学报》2007年第5期10-12,52,共4页王国强 王安福 王绍明 
湖北省教育厅科学技术研究项目(D200560005)
采用溶胶-凝胶法在LaNiO3基底上制备了Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)铁电薄膜。研究了不同退火温度对薄膜结晶性能的影响,并测试了各种BST薄膜的介电性能、铁电性能。实验结果表明经700℃退火处理的BST铁电薄膜具有比较优越的电性能,在测试频率为...
关键词：钛酸锶钡 铁电薄膜 介电性能 铁电性能 溶胶-凝胶 
BST铁电薄膜在红外辐射作用下响应的解析解
《固体力学学报》2007年第1期37-42,共6页李尧臣 杨昌锦 孙璟兰 
国家自然科学基金课题(10272081)资助
研究了红外探测器中红外焦平面列阵的象元—BST铁电薄膜微桥在红外辐射作用下输出信号的分析方法.将BST铁电薄膜微桥结构简化为一块微米尺度的夹层板,中间是BST铁电薄膜,在极化模式下工作.微桥的上表面接收辐射脉冲信号.由于微桥十分微...
关键词：BST铁电薄膜 微桥结构 层合板 红外辐射 耦合方程 级数 
磁控溅射法制备BST铁电薄膜的实验研究被引量：2
《压电与声光》2007年第1期62-64,67,共4页章天金 何军 张柏顺 潘瑞琨 江娟 马志军 
国家自然科学基金资助项目(50372017/E0204)
采用射频磁控溅射法在Si和Pt/TiOx/SiO2/Si衬底上沉积了(Ba0.65Sr0.35)TiO3铁电薄膜,研究了BST铁电薄膜微观结构和介电性能。实验结果表明:衬底温度在550℃,工作气压为2.0 Pa的溅射条件下沉积的BST薄膜,经750℃退火处理30 min后,形成了...
关键词：RF磁控溅射 (Ba0.65Sr0.35)TiO3薄膜 介电常数 居里温度 
BST铁电薄膜的制备、应用及其研究进展被引量：2
《化工时刊》2005年第11期54-57,共4页丁历 廖恒成 姜云峰 
综述了钛酸锶钡(BST)铁电薄膜的4种制备工艺:磁控溅射(Magnetron sputtering)法、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法、脉冲激光淀积(PLD)法,以及溶胶—凝胶(Sol—Gel)法。并介绍了BST铁电薄膜在动态随机存储器、非致冷红外探测器热成像...
关键词：钛酸锶钡(BST) 铁电薄膜 制备 
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