毕振兴

作品数：2被引量：4H指数：1
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供职机构：天津大学更多>>
发文主题：钙钛矿相BST铁电薄膜射频磁控溅射钛酸锶钡PZT铁电薄膜更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《硅酸盐通报》《压电与声光》更多>>
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LSMCD法制备梯度BST铁电薄膜的工艺研究被引量：1
《压电与声光》2007年第6期743-745,共3页白天 张之圣 王秀宇 毕振兴 
"九八五"教育振兴行动计划学科建设基金资助项目
研究了利用液态源雾化化学沉积(LSMCD)法制备梯度钛酸锶钡(BST)薄膜的工艺。该方法既可以较精确的控制薄膜的化学计量比及掺杂浓度,又可采用控制超声雾化沉积的时间和次数来有效的控制膜厚及晶粒的大小。X-射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM...
关键词：液态源雾化沉积 钛酸锶钡 梯度薄膜 钙钛矿相 
射频磁控溅射制备PZT铁电薄膜的工艺研究被引量：3
《硅酸盐通报》2005年第4期6-9,共4页毕振兴 张之圣 胡明 樊攀峰 刘志刚 
在SiO2/Si基片上采用直流对靶溅射技术制备出Pt/Ti底电极;应用射频磁控溅射方法,利用快速热处理(RTA)工艺,制备出了具有良好铁电性能的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜。将样品进行10min快速热退火处理,退火温度700℃。测试分析表明:薄膜厚...
关键词：PZT 直流对靶溅射 射频磁控溅射 锆钛酸铅薄膜 钙钛矿相 电滞回线 射频磁控溅射方法 PZT铁电薄膜 溅射制备 工艺研究 
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