PZT铁电薄膜

作品数：87被引量：169H指数：7
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PTO种子层对PZT铁电薄膜结晶温度和电学性能的影响被引量：1
《湘潭大学学报（自然科学版）》2019年第3期22-29,共8页刘文燕 姜杰 杨琼 周益春 
湘潭大学博士启动资金项目(2018111501524)
该文采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了PZT和PZT/PTO两种结构的铁电薄膜,通过PTO种子层调控PZT薄膜的微观结构和电学性能.研究发现,加入PTO种子层之后,薄膜的SEM图像呈现出更加致密的形态,晶粒分布较均匀.PZT/PTO铁...
关键词：PZT铁电薄膜 PTO种子层 溶胶-凝胶法 电学性能 
PZT铁电薄膜的离子束刻蚀表面形貌研究被引量：1
《湘潭大学学报（自然科学版）》2019年第3期30-38,共9页罗远东 朱学进 彭强祥 刘巧灵 廖佳佳 
强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室开放课题(SKLIPR1513)
采用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了约200nm厚的PZT(锆钛酸铅)铁电薄膜,然后用氩离子束对PZT薄膜进行刻蚀.研究了不同的离子束刻蚀工艺参数(如离子束入射角θ、屏级电压Us和氩气流量FAr)对PZT薄膜刻蚀速率及表面粗糙...
关键词：溶胶-凝胶法 锆钛酸铅 离子束刻蚀 表面粗糙度 
基于可控剥离技术的柔性PZT薄膜的制备及其铁电性质
《微纳电子技术》2019年第3期233-238,共6页张晶 石树正 何剑 穆继亮 丑修建 
国家自然科学基金资助项目(51605449;61471326;51675493;51705476);山西省青年科技研究基金资助项目(201601D021064);张家口市科学技术研究与发展计划资助项目(1811009B-10)
可控剥离技术(CST)作为一种薄膜制备方式已被广泛应用于柔性领域,例如硅基柔性太阳电池等。首先采用溶胶-凝胶法先后在普通硅基底上制备镍酸镧(LaNiO3)缓冲层和锆钛酸铅(PZT)薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)进行材料表...
关键词：可控剥离技术(CST) 电镀 柔性PZT铁电薄膜 溶胶-凝胶 镍酸镧(LaNiO3) 
PZT铁电薄膜的低温制备及其微图形加工
《化工新型材料》2017年第11期167-170,共4页李祯 王晓芳 赵琴 
陕西省教育厅专项科研项目(15JK1801);咸阳师范学院专项科研基金(13XSYK019)
锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜具有高的剩余极化强度和机电耦合系数,是制备各种传感器和存贮器优良的功能材料。在器件的制备工艺中,需要将PZT铁电膜沉积到单晶Si基板上,但是,PZT过高的结晶温度会严重地破坏Si基板。为了降低PZT的结晶温度,使...
关键词：PZT 溶胶-凝胶法 铁电性 微加工 
一种铁电超晶格的制备及其性能分析
《厦门理工学院学报》2017年第5期57-60,共4页黄奇辉 
厦门市对台科技合作与交流基地项目(3502Z20141042);厦门理工学院教育教学改革与建设项目(JGY201621);厦门理工学院对外科技合作专项(E201401600)
采用射频磁控溅射工艺,制备了三周期铁电超晶格[PZT/LNO]3/Si。对周期结构样品的结晶取向、表面形貌、电滞回线、反射光谱、膜厚等特性的一系列测试分析显示,制备的样品表面较平整,颗粒尺寸均很小,晶格匹配可以诱导择优取向,铁电性能优...
关键词：铁电超晶格 PZT铁电薄膜 LNO薄膜 磁控溅射 
力电多场鼓包法测定PZT铁电薄膜的横向压电系数
《材料导报》2017年第15期139-144,共6页何元东 孙长振 毛卫国 毛贻齐 张宏龙 陈彦飞 裴永茂 方岱宁 
国家自然科学基金(11272276;11572277;11302004);湖南省自然科学基金杰出青年基金(14JJ1020);国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ03007502)
为表征Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3(PZT)薄膜的横向压电性能,以纯力场鼓包测试模型和铁电薄膜材料压电方程为基础,推导了PZT铁电薄膜的力电耦合鼓包本构模型。采用溶胶-凝胶法制备了PZT铁电薄膜,并通过化学腐蚀法获得PZT薄膜鼓包样品。...
关键词：横向压电系数 鼓包测试 力电耦合本构 锆钛酸铅薄膜 
PZT铁电薄膜疲劳状态下的电学性能
《中国科技论文》2015年第22期2653-2656,2665,共5页陈月圆 朱慧 张迎俏 汪鹏飞 冯士维 郭春生 
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20121103120019);国家自然科学基金资助项目(61201046);北京市自然科学基金资助项目(2132023)
为了探究阻碍PZT铁电薄膜在市场上得到广泛应用的疲劳失效机理,本文对PZT(锆钛酸铅)铁电薄膜在疲劳过程中的电滞回线、漏电流、保持损失和印记特性的变化进行了研究。研究结果表明:在欧姆导电区域,PZT薄膜体电阻率随疲劳进程而减小,表...
关键词：铁电薄膜 疲劳 漏电流 保持特性 印记 矫顽电压 
Pt/PZT铁电薄膜结晶性能与界面结构研究
《电子元件与材料》2015年第10期32-35,共4页万静 杨成韬 
中央高校基本科研基金资助(No.8200784)
锆钛酸铅[Pb(ZrxTi1-x)O3,PZT]薄膜具有优异的铁电性能,其中以(111)取向的PZT薄膜铁电性能更优异。目前对影响PZT薄膜取向生长的因素还未完全研究清楚,而PZT薄膜制备中,薄膜的择优取向生长控制是薄膜制备工艺的难点。采用TEM观察界面微...
关键词：PZT薄膜 取向生长 高斯软件 团簇分子 界面结构 量子点 
快速热处理中退火温度对Sol-gel法制备PZT铁电薄膜性能的影响
《信息通信》2014年第3期16-18,共3页胡绍璐 赵海臣 李林华 任丽 邓朝勇 
贵州省科学研究计划(2012-3005;2010-4005;2010-2134;2011-2016);贵阳基础研究基金(2012101-2-4);贵州大学研究生创新基金(2013021)
利用Sol-Gel法在Pt/TiO2/SiO2/Si基底上用快速热处理(Rapid Thermal Processing,RTP)退火工艺制备出了致密的PZT铁电薄膜,主要研究了在退火时间为500s时退火温度对薄膜的结晶结构、表面形貌和铁电性能的影响。通过X射线衍射仪(XRD)、扫...
关键词：退火温度 快速热处理(RTP) Sol—Gel法 铁电性能 
PZT铁电薄膜的反应离子刻蚀研究
《压电与声光》2011年第3期464-466,471,共4页束平 王姝娅 张国俊 戴丽萍 翟亚红 王刚 钟志亲 曹江田 
国家"八六三"计划基金资助项目(2002AA404500);国家"九七三"计划基金资助项目(G1999033105)
介绍了一种刻蚀效果良好的PZT铁电薄膜反应离子刻蚀方法。利用深反应离子刻蚀设备研究了反应离子刻蚀中刻蚀气氛、刻蚀功率及刻蚀气体流量等因素对PZT薄膜刻蚀效果的影响。实验结果表明,刻蚀气体采用SF6、刻蚀功率为250 W、SF6/Ar总流量...
关键词：PZT薄膜 光刻胶 深反应离子刻蚀 刻蚀速率 铁电电容 
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