丑修建

作品数:94被引量:305H指数:9
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供职机构:中北大学更多>>
发文主题:MEMS压电传感器电磁式SUB更多>>
发文领域:电子电信自动化与计算机技术一般工业技术机械工程更多>>
发文期刊:《现代电子技术》《仪器仪表学报》《激光与红外》《电子元件与材料》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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压电MEMS振动传感器信号采集系统设计与实现
《测试技术学报》2024年第6期695-702,共8页武晓慧 耿文平 丑修建 
针对硅基铌酸锂单晶薄膜压电MEMS振动传感器产生振动信号的特征,设计了基于FPGA平台的数据采集系统。该系统采用AD7606采样芯片,结合状态机的思想,完成了AD采样设计的时序图,实现了数据转换,转换后的数据使用FIFO进行存储,之后通过USB ...
关键词:压电MEMS振动传感器 电荷放大器 数据采集 加载加速度 电荷灵敏度 
行进间炮口偏移状态光电测量技术研究
《兵器装备工程学报》2024年第11期304-309,共6页韩学锋 贺文君 王雯 刘毅 游亚军 丑修建 
针对目前行进间炮口偏移状态测量缺乏手段的现状,提出了一种基于二维位置敏感探测器(PSD)的行进间炮口偏移状态测量方法。固定在炮尾的激光位置保持相对不变,光束方向指向固定在炮口的PSD中心位置。PSD随着炮口位置移动而发生变化,导致...
关键词:激光 位置敏感探测器 炮口偏移 行进间 车载火炮 
铌酸锂单晶薄膜化学机械抛光及极化研究
《功能材料》2024年第9期9222-9228,共7页乔骁骏 薛刚 丑修建 
国家自然科学基金面上项目(62171415);山西省自然科学基金项目(202203021222068);广东省基础与应用基础研究基金(2023A1515110108)。
使用化学机械抛光制备硅基铌酸锂单晶异质集成薄膜,研究了在薄膜制备过程中不同阶段下薄膜状态,利用原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱分析(XPS)对单晶铌酸锂的表面形貌与元素含量变化进行了表征,并通过高压极化装置对铌酸锂薄膜实现...
关键词:铌酸锂 化学机械抛光 异质集成 极化 
国产化低功耗嵌入式火炮压力测试系统设计被引量:1
《测试技术学报》2024年第3期240-247,共8页王浩达 张领辉 丑修建 
针对当前国产化膛压测试系统存在的功耗较大问题,设计了基于RISC-V开源指令集CH32V203微控制器的国产化低功耗火炮压力测试系统。为了降低待机态功耗,进行了低功耗芯片选型,并通过多模块分电源使能管理的方法减少非工作态模块功耗;利用...
关键词:电子测压器 火炮压力测试 微型化 低功耗 
压电MEMS振动传感器调理电路设计与实现被引量:3
《测试技术学报》2024年第3期330-336,共7页武晓慧 张慧毅 耿文平 郭涛 丑修建 
国家自然科学基金资助项目(51975541,62171415);山西省基础研究计划项目(202203021223005);山西省留学归国人员科学活动基金资助项目(20230015)。
针对铌酸锂单晶薄膜的压电MEMS振动传感器输出电荷信号微弱而难以采集的问题,设计了一种基于集成运放芯片TLE 2064 CDR的信号调理电路。该电路由电荷-电压转换电路(Q-V)、电压放大电路、前置低通滤波电路和后置高通滤波电路构成,旨在实...
关键词:压电MEMS振动传感器 调理电路 滤波设计 信号放大 电荷放大器 
铁酸铋薄膜柔性化微纳制造及铁电性能
《半导体技术》2024年第2期138-142,共5页乔骁骏 李雅青 丑修建 
国家自然科学基金面上项目(62171415);山西省自然科学基金(202203021222068)。
研究了铁酸铋薄膜的柔性化可控制造方法及其电畴调控动态。利用脉冲激光沉积法制备了周期性畴结构的铁酸铋薄膜,结合可控剥离技术,完成了铁酸铋薄膜从刚性基底到柔性基底的制备过程。利用原子力显微镜和压电力显微镜技术对柔性化铁酸铋...
关键词:铁电薄膜 柔性 铁酸铋 极化 电畴反转 
d_(31)模式四悬臂梁压电MEMS加速度计
《兵工学报》2022年第8期1998-2006,共9页石树正 耿文平 刘勇 毕开西 李芬 丑修建 
国家自然科学基金项目(62171415、51975542、51975541);河北省“三三三人才工程”资助项目(A202101021、C20221029);河北省高校基本科研业务费项目(2022QNJS01);河北省创新创业训练计划项目(202210084005)。
针对高灵敏度无源加速度计的集成制造需求,提出一种d工作模式下四悬臂梁集成拾振微球的MEMS压电加速度计敏感结构。建立动力学振动和拾振理论模型,并使用COMSOL 5.0软件对传感器件结构进行建模仿真,通过优化确定满足拾振条件的微器件几...
关键词:微机电系统 d_(31)压电加速度计 灵敏度 拾振微球 锆钛酸铅 
铌酸锂单晶悬臂梁MEMS振动传感器的性能被引量:2
《微纳电子技术》2022年第7期665-671,724,共8页魏慧芬 穆继亮 耿文平 丑修建 
国家自然科学基金资助项目(62171415);山西省回国留学人员科研资助项目(2021-112)。
研究了基于铌酸锂压电单晶薄膜悬臂梁的微电子机械系统(MEMS)振动传感器的结构设计和加工工艺,并在宽频带和宽温度范围条件下对传感器进行了输出性能测试。结果表明,所制备的传感器固有频率接近于设计的目标频率;输出电荷呈正弦波形且...
关键词:微电子机械系统(MEMS) 振动传感器 双悬臂梁 铌酸锂单晶 鲁棒性 
一体化仿生结构压电MEMS水声传感器被引量:1
《微纳电子技术》2022年第1期50-57,共8页石树正 耿文平 毕开西 李芬 丑修建 
国家重点研发计划资助项目(2019YFF0301802);国家自然科学基金资助项目(51975541);山西省重点研发项目(20201101015);2019年度河北省自然科学基金资助项目(F2019404029);河北省“三三三人才工程”资助项目(A202101021)。
为了实现水声传感器的低能耗、高灵敏度以及低成本批量制造,设计并制备了一种四螺旋梁集成拾振微球的一体化仿生压电微电子机械系统(MEMS)水声传感器。根据水母耳石触觉结构和水母身体回弹发电原理对该传感器进行仿生结构设计,并通过建...
关键词:微电子机械系统(MEMS) 水声传感器 仿生结构 压电效应 异质集成 
低功耗自供电机械设备状态监测系统设计被引量:11
《中北大学学报(自然科学版)》2021年第4期355-360,共6页穆锦标 穆继亮 邹杰 丑修建 
国家自然科学基金资助项目(51975541,51975542)。
为解决机械设备安全运行监测设备的续航能力差、需要频繁更换电池的问题,设计了一种低功耗自供电机械设备状态监测系统.该系统由磁悬浮电磁能量采集器、能量管理电路、低功耗无线传感电路以及监测上位机组成,通过收集机械设备运行状态...
关键词:自供电 低功耗 状态监测 机械设备 磁悬浮 无线传感 
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