数字波面干涉仪测量误差消除方法  

The Method of Eliminating Measurement Error in Digital. Wavefront Interferometer

作　　者：杨朋利[1] 

机构地区：[1]西安应用光学研究所

出　　处：《应用光学》1992年第1期59-62,共4页Journal of Applied Optics

摘　　要：主要论述了数字波面干涉仪在测量过程中影响测量准确度的各种误差,并介绍了对于不同误差的消除方法。This paper describes various errors which have effect on the measuring accuracy and the methods of eliminating errors in digital wavefront interferometer.

关 键 词：干涉仪 误差 测量 数字波面 

分 类 号：TH742.3[机械工程—光学工程]