在批量生产厚膜混合集成视放电路工艺过程中应注意的问题  

作　　者：徐光钊[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第43研究所，合肥230022

出　　处：《混合微电子技术》2004年第1期45-46,64,共3页Hybrid Microelectronics Technology

摘　　要：本文主要介绍了在批量生产厚膜混合集成视放电路工艺过程中，应该注意的问题。

关 键 词：批量生产 厚膜混合集成电路 视放电路 基片成膜工艺 调试 

分 类 号：TN452[电子电信—微电子学与固体电子学]