用场发射电镜校正超高真空规的理论分析  

作　　者：齐德林[1] 

机构地区：[1]中国科学院化学研究所,北京市100080

出　　处：《真空》1992年第3期34-36,共3页Vacuum

关 键 词：真空规 场发射 电镜 校正 

分 类 号：TB772[一般工业技术—真空技术]