真空规

作品数：65被引量：112H指数：5
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相关领域：一般工业技术电子电信更多>>
相关作者：成永军李得天孙雯君郜晨希李超波更多>>
相关机构：中国科学院兰州空间技术物理研究所中国科学院微电子研究所中国科学院兰州物理研究所更多>>
相关期刊：《核工业西南物理研究院年报》《流程工业》《福建分析测试》《电子科技文摘》更多>>
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电容薄膜真空规校准方法的研究
《中国仪器仪表》2023年第2期34-37,共4页刘贝贝 刘燚 蒋厚庸 周宇仁 
基于真空衰减法的阳性样品校准装置的研制(E00RY2210)
本文利用电容薄膜真空计校准装置、高精度数字压力计、稳压电源和数字多用表,采用比较法完成了对(1~1000)Torr绝压电容薄膜真空规的量值溯源,扩展不确定度为U=(0.69%~0.02%)(k=2)。
关键词：电容薄膜真空规 数字压力计 数字多用表 
热膨胀仪的故障诊断与维修
《安徽冶金科技职业学院学报》2021年第4期18-19,31,共3页刘志军 陈虎 王旭 陈泳 
介绍了DIL 805A/D型膨胀仪的工作原理及结构组成和几个典型故障的诊断与维修,为该仪器故障的快速诊断和维修提供了参考。
关键词：膨胀仪 光电耦合 真空规 故障诊断 
产品
《流程工业》2021年第5期46-46,共1页
普发真空DigiLine系列总压测量真空计再添新成员2021年4月27日,普发真空DigiLine系列总压测量真空计再添新型号,采用数字信号输出,为精准并安全的数据传输保驾护航。20多年来,普发真空凭借DigiLine数字式总压测量真空计为总压测量提供...
关键词：真空计 真空规 真空应用 模块化设计 数据传输 保驾护航 数字式 数字信号输出 
基于Au-Si共晶键合的高灵敏MEMS电容薄膜真空规设计
《真空与低温》2021年第1期38-44,共7页柯鑫 韩晓东 李得天 成永军 孙雯君 许马会 李刚 
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(61627805)。
为了解决真空腔电极引线导致的真空漏气,进一步拓展真空规的测量下限,提出了一种基于Au-Si共晶键合的绝压式MEMS电容薄膜真空规设计方案。阐述了该新型MEMS电容薄膜真空规的制作工艺流程、用浓硼掺杂法制备感压薄膜技术,采用阳极键合协...
关键词：MEMS 电容薄膜真空规 Au-Si共晶键合 浓硼掺杂 
感压膜片预张力对电容薄膜真空规输出特性的影响被引量：2
《真空与低温》2021年第1期52-56,共5页贾春旺 陈叔平 成永军 孙雯君 裴晓强 孟岳 金树峰 杨雯 赵高逸 
国家自然科学基金项目(61971209)。
电容薄膜真空规中感压膜片在安装时通常须先施加预张力,再固定。为研究感压膜片预张力对电容薄膜真空规输出特性的影响,以现有电容薄膜真空规为对象,基于COMSOL Multiphysics软件,建立有限元模型,得到了不同预张力下输出电容的仿真解,...
关键词：电容薄膜真空规 感压膜片 预张力 有限元分析 输出电容 
多通道真空显控系统设计
《科技视界》2020年第13期75-77,共3页蔡龙 
本文介绍了一种基于STM32微控制器的多通道真空度显示与控制系统。该系统由STM32微控制器、信号调理电路、RS232通讯接口、LCD模块、真空规与上位机组成。基于此系统搭建四极质谱仪真空腔体测试平台,可控制8路真空进样阀的开关,同时显...
关键词：真空测量 CORTEX-M3 真空 真空规 
差压式MEMS电容薄膜真空规的设计与测试被引量：6
《真空与低温》2020年第1期17-20,共4页李刚 韩晓东 李得天 成永军 孙雯君 柯鑫 冯勇建 许马会 
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(61627805)
提出了一种基于MEMS技术的差压式电容薄膜真空规设计方案。通过有限元分析软件建立了仿真模型,对感压薄膜尺寸和电极间距离进行了优化。根据优化结果,完成了真空规的研制和性能测试。测试结果表明,测量范围下限5 Pa,上限1000 Pa,灵敏度...
关键词：MEMS技术 差压式 电容薄膜真空规 
真空粉末绝热压力容器真空度丢失案例浅析被引量：1
《上海化工》2019年第12期29-31,共3页徐洲凯 梁俊杰 
为提高真空粉末绝热压力容器定期检验水平,分析了设备夹套真空度丢失的各项因素,并以一起实际案例作为依据,提出了正确选用真空度测量仪器的方法。
关键词：真空度 压力容器 真空规管 
采用环形感压薄膜的MEMS电容薄膜真空规设计被引量：3
《中国测试》2019年第1期88-93,共6页王呈祥 韩晓东 李得天 成永军 孙雯君 李刚 
国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(61627805);五院CAST基金项目
感压薄膜的结构改良能有效改善MEMS电容薄膜真空规的压力-电容输出特性。为解决MEMS电容薄膜真空规宽量程与高灵敏度相矛盾的问题,设计一种环形结构的感压薄膜,利用有限元的方法分析对比5种环形结构的感压薄膜在不同压力下的变形与应力...
关键词：MEMS 电容薄膜真空规 高灵敏度 宽测量范围 
低温绝热容器的定期检验与维护被引量：1
《中国设备工程》2018年第19期75-77,共3页娄永生 林肯 
本文以低温绝热容器为主要研究对象,重点介绍了几种常见失效方式,详细阐述了定期检验中重点检查部位和真空度的测量问题,最后介绍了日常维护关键点。
关键词：低温绝热容器 失效 真空规管 检验 维护 
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