CBE气态源炉的研制  

Research on the CBE Gas Source Furnace

作　　者：朱世荣 孙殿照 孔梅影 

机构地区：[1]中科院半导体研究所三室MBE 组,北京100083

出　　处：《真空》1992年第4期34-37,共4页Vacuum

摘　　要：本文主要介绍我们研制的ＣＢＥ气态源炉和在我们与沈阳科学仪器厂联合研制的 ＣＢＥ系统上的使用结果。并简介国际上气态源炉的研制概况。The CBE gas source furnace and the results used in CBE system developed by us and Shenyang Science ac Technology Instrument Factory are primarily given in this paper.And introduce the development situation of the gas source furnace abroad.

关 键 词：气态源炉 化学束外延 半导体 

分 类 号：TN303[电子电信—物理电子学]