热辐射球式钛升华泵的自动控制  

作　　者：白刚[1] 

机构地区：[1]兰州物理研究所,730000

出　　处：《真空与低温》1992年第4期210-211,共2页Vacuum and Cryogenics

摘　　要：热辐射球式钛升华泵作为无油污染的高真空抽气方法,目前已被广泛采用。为了克服泵内钛储量所限而影响泵的工作寿命,介绍了热辐射球式钛升华泵钛升华率的自动控制方法。使泵工作在最经济合理的状态下,达到延长泵的工作寿命的目的。

关 键 词：自动控制 真空 抽气 吸附泵 钛泵 

分 类 号：TB752.51[一般工业技术—真空技术]