白刚

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热辐射球式钛升华泵的自动控制
《真空与低温》1992年第4期210-211,共2页白刚 
热辐射球式钛升华泵作为无油污染的高真空抽气方法,目前已被广泛采用。为了克服泵内钛储量所限而影响泵的工作寿命,介绍了热辐射球式钛升华泵钛升华率的自动控制方法。使泵工作在最经济合理的状态下,达到延长泵的工作寿命的目的。
关键词：自动控制 真空 抽气 吸附泵 钛泵 
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