3D互连电容快速提取的新途径——介质积木库法  

A New Approach to 3D Parasitic Capacitance Extraction of Interconnects with Building Blocks of Dielectric

作　　者：戴斌华[1] 陆涛涛[1] 王泽毅[1] 洪先龙[1] 

机构地区：[1]清华大学计算机科学与技术系,北京100084

出　　处：《计算机辅助设计与图形学学报》2004年第3期343-347,共5页Journal of Computer-Aided Design & Computer Graphics

基　　金：国家重点基础研究发展规划项目 (G19980 3 0 40 4);国家"八六三"高技术研究发展计划 ( 2 0 0 2AA1Z14 60SOC)资助

摘　　要：引入介质积木的概念 ,可方便地对三维互连结构作预处理以形成介质积木库 ,从而提高电容提取速度 介质积木库法只需借助工艺描述文件 ,即可处理包括保形介质和非正交互连等复杂结构 数值计算表明 :基于介质积木库的电容提取算法在同等精度下比SpiceLink算法快A novel concept of Building Block of Dielectric is introduced to facilitate preprocessing the 3D interconnect structure and building a library of BBD for fast capacitance extraction With a process description file it can handle complex structure as conformal and non orthogonal wire Numerical results present that the capacitance extraction algorithm based on BBD is at least 30 times faster than SpiceLink without loss of precision

关 键 词：VLSI 超大规模集成电路 直接边界元法 宏模型库 介质积木库法 3D互连电容 寄生电容 

分 类 号：TN47[电子电信—微电子学与固体电子学]