压电陶瓷微位移机械装置的研究  

作　　者：何勇[1] 吴栋[1] 吴子明[1] 姬会东[1] 

机构地区：[1]南京理工大学电光学院,南京210094

出　　处：《机械设计与制造》2004年第2期94-95,共2页Machinery Design & Manufacture

基　　金：国防科工委国防军工计量"十五"计划重点项目(项目编号:60803134)

摘　　要：参考反射镜的位移标定,在很大程度上决定了移相干涉仪的测量精度.根据移相干涉的要求和压电陶瓷的特点,设计了推动参考反射镜作微位移的机械装置,通过实验测量出其微位移量表明,设计的装置使反射镜移相的非线性为1.73%。

关 键 词：移相法 干涉仪 微位移装置 压电陶瓷 参考反射镜 位移标定 移相器 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程] TH-39[机械工程—仪器科学与技术]