微机械气动红外传感器的流体分析  

Flow simulation of micro -machined pneumatic infrared sensor

作　　者：吴骏苗[1] 邹德恕[1] 沈光地[1] 

机构地区：[1]北京市光电子技术实验室,北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京100022

出　　处：《科技通讯（上海）》2004年第1期83-86,共4页

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.69976004)

摘　　要：提出了一种可工作于室温环境下的微型气动红外传感器,它基于气体吸收特定波段的红外辐射后产生的一系列热效应为物理基础,可获得包含红外辐射源信息的信号。为深入研究热效应所产生的微热信号对器件整体性能的控制和影响,优化器件的几何结构和行为,建立了符合器件工作机制的经典热传输模型,并在此基础上,利用通用商业有限元模拟软件ANSYS/FLORTRAN进行流体-结构耦合分析,获得了微型腔体温度,流-固界面压力分布情况以及薄膜的弹性形变,掌握了微结构的机械特性以及流畅的热输运特性。A novel Micro -Machined Pneumatic I nfrared Sensor is described,which i s classified as a uncooled infrared sensor.The senso r consists of a small cavity filled wi th a special gas,which shows a characteristic spectral sensitiv ity in the wavelength range of the inf rared light.Infrared intensity is measured via the deflection of the me mbrane induced by thermal expansion of the special gas.In order to study and optimize this sensor,a t hermal model of the sensor structure is developed,and the commercial finite -element analysis program ANSYS /FLORTRANis employed for fluid -structural coupling.The temperature distribution of membrane,pressure distribu tion at fluid -solid interface and deflection of diagram are obtained.

关 键 词：微机械 气动红外传感器 流体-结构耦合模拟 微结构 热输运 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN21[自动化与计算机技术—控制科学与工程]