压电型惯性微驱动器研究  

The Study on Miniature Inertial Piezo-actuators

作　　者：卢秋红[1] 高志军[1] 颜国正[1] 颜德田[1] 

机构地区：[1]上海交通大学电子信息学院精密工程及智能微系统研究所,上海200030

出　　处：《压电与声光》2004年第2期112-115,共4页Piezoelectrics & Acoustooptics

基　　金：国家十五"八六三"计划基金资助项目(2001AA422210)

摘　　要：提出基于惯性-摩擦的新型压电驱动方式,设计出可实现直线运动和圆周运动的压电微型驱动器。对微驱动器进行了动力学建模,给出了试验结果及分析,并讨论了驱动器的应用方向。The inertia-friction piezoelectric driving mode has been brought forward in this paper. Based on this theory, a miniature piezo-actuator which can realize linear and circumferential motion has been designed. The authors made dynamics models to analyze the microactuators, presented and analyzed the experimental results, and discussed the application direction.

关 键 词：压电效应 微驱动器 惯性-摩擦 

分 类 号：TP242[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]