内框驱动式硅微型角振动陀螺仪灵敏度研究  

The Sensitivity Study of an Angular Vibratory Micromechanical Gyroscope Driven by the Inner Frame

作　　者：方玉明[1] 茅盘松[2] 

机构地区：[1]南京邮电学院信息工程系,南京210003 [2]东南大学电子工程系,南京210096

出　　处：《电子器件》2004年第1期189-191,共3页Chinese Journal of Electron Devices

基　　金：江苏省高校自然科学研究计划项目资助(项目编号:03KJB510089)

摘　　要：建立了内框驱动式硅微型角振动陀螺仪的运动方程,导出了灵敏度方程,提出了提高陀螺系统灵敏度的简单可行的方法,即:设计制造陀螺仪时,使内外框架固有频率相等,或驱动信号采用二个正弦波之和,二个正弦波的频率应选为框架的固有频率。This paper develops dynamic and sensitive equations of angular vibratory micromechanical gyroscope with du-al-gimbal driven by the inner gimbal frame, and presents two simple and feasible methods to enhance the gyroscope' s sensitivity. The frequency of the inner gimbal frame and the natural frequency of the outer gimbal frame are equal. The driven signal consists of two sine-waves and their frequencies are selected to equal to the natural frequency of inner and outer frame in designing gyroscope system.

关 键 词：微机械陀螺仪 双框架 灵敏度 

分 类 号：V249.122[航空宇航科学与技术—飞行器设计]