ANSYS在热释电薄膜红外探测器二维热分析中的应用  

Application of ANSYS in Thermal Analysis of Pyroelectric Thin Film Infrared Detector

作　　者：张伟[1] 姚熹[1] 吴小清[1] 

机构地区：[1]西安交通大学,电子材料研究所,西安710049

出　　处：《传感技术学报》2004年第1期98-100,共3页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：国家自然科学基金项目 (课题编号 6 0 3770 35 ) ;国家重点基础研究发展计划 (课题编号 2 0 0 2CB6 1330 5 ) ;中国-以色列国际合作项目资助

摘　　要：根据热释电薄膜红外探测器的结构和实际的测试条件 ,利用有限元软件ANSYS建立了不同结构组成的热释电薄膜红外探测器的二维模型 ,并对其进行了热分析 ,得到了探测器内的温度场分布。分析了复合热释电薄膜红外探测器的绝热层对温度场的影响 ,并将复合热释电薄膜红外探测器与微桥结构探测器的性能进行了比较。Two-dimensional models of pyroelectric thin film infrared detectors with different structures are built and their thermal analyses are performed according to their structure and test conditions by utilizing ANSYS. The temperature distribution of detectors is obtained. The influence of thermal insulation layer of multilayer pyroelectric thin film infrared detector on temperature distribution is analyzed and its performance compared with that of micro-bridge structure.

关 键 词：ANSYS 热释电 薄膜红外探测器 微桥结构 有限元软件 

分 类 号：TN215[电子电信—物理电子学]