声表面波(SAW)压力传感器输出频率的高精度测量方法研究  

The Study of High Precision Measure Frequency for SAW Pressure Sensors

作　　者：何鹏举[1] 陈明[1] 许海岗[1] 

机构地区：[1]西北工业大学,自动化控制系,西安710072

出　　处：《传感技术学报》2004年第1期114-117,共4页Chinese Journal of Sensors and Actuators

基　　金：20 0 3年度国家技术创新基金重点支持项目

摘　　要：SAW压力传感器的输出量是频率 ,因之精确的频率测定是保证其可靠性和正确计量的关键之一。尽管目前有多种频率测量方法 ,但适合于和传感器相配套的用于生产现场的微型、高精度频率仪在国内尚罕见报道。我们在研究了现有频率测量方法的基础上 ,得到了一种适合于SAW压力传感器输出频率的测量方法 ,并给出了实现频率测量的原理和电路及其主要的电子元件。The high precision measure frequency is a key in SAW pressure sensors, because the output of SAW pressure sensors is frequency. There are many ways to measure frequency, but no way to adapt the SAW pressure sensors used in industrial field. Principle of high quality measure frequency for SAW pressure sensors is given, which is based on the analyzing currently method of measure frequency. And the system structure of measure frequency and electronic element are presented.

关 键 词：声表面波 压力传感器 输出频率 频率测量 软件测量 计数测量 

分 类 号：TP212.1[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]