氩等离子体的电子能量分布函数分析  

Analysis of Electron Energy Distribution Function in an Argon Plasma

作　　者：池凌飞[1] 林揆训[1] 林璇英[1] 余云鹏[1] 余楚迎[1] 

机构地区：[1]汕头大学物理系,汕头515063

出　　处：《汕头大学学报（自然科学版）》2004年第2期7-12,共6页Journal of Shantou University：Natural Science Edition

基　　金：~~

关 键 词：氩等离子体 电子能量分布函数 多峰结构 等离子体振荡 诊断 射频辉光放电 

分 类 号：O536[理学—等离子体物理]